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国家自然科学基金(61078034)

作品数：2 被引量：3H指数：1
相关作者：赵永蓬谢耀王骐姜杉刘涛更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇激光
  • 1篇电子密度
  • 1篇电子温度
  • 1篇原子
  • 1篇原子参数
  • 1篇软X射线激光
  • 1篇毛细管放电
  • 1篇激光强度
  • 1篇激光增益
  • 1篇光强
  • 1篇光强度
  • 1篇光增益
  • 1篇ROWLAN...
  • 1篇氖
  • 1篇氙
  • 1篇氩
  • 1篇钯

机构

  • 2篇哈尔滨工业大...
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 2篇赵永蓬
  • 1篇李连波
  • 1篇王骐
  • 1篇刘涛
  • 1篇姜杉
  • 1篇谢耀

传媒

  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇新型工业化

年份

  • 2篇2013
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
类钯氙原子参数及41.8nm激光增益理论分析
2013年
作为实现X射线激光小型化的方案之一，毛细管放电泵浦机制具有能量转换效率高，增益长度大等优点。现阶段采用基于电子碰撞机制的毛细管放电方案还未能实现比类氖氩46.9 nm更短的软X射线激光输出。本文理论上采用Cowan程序计算了和类钯氙41.8nm激光跃迁相关能级的原子参数。在此基础上，建立了电子碰撞激发速率方程，计算了增益随着电子温度和电子密度的变化情况。计算结果表明，实现类钯氙41.8nm激光的最佳电子密度约为1017~1018cm-3、最佳电子温度约为75~100eV。
赵永蓬李连波丁宇洁姜杉崔怀愈刘涛
关键词：原子参数电子温度电子密度
提高毛细管放电类氖氩46.9nm软X射线激光强度的研究被引量：3
2013年
为了提高毛细管放电类氖氩46.9 nm软X射线激光的强度,研究了工作介质中气体的掺杂对激光强度的影响。研究表明,在纯Ar中掺入适量的He显著地提高了激光的输出强度。通过对比在Ar中掺入Ne、N2以及Kr等其他气体的实验,系统地分析了He的掺入对等离子温度的影响,找到了在特定工作气压下最佳的掺杂比,有利于进一步提高毛细管放电46.9 nm软X射线激光的强度。在放电等离子体极紫外光刻(EUVL)光源研究过程中,也采用了在Xe中掺入适量He的方式以提高13.5 nm的输出强度。
谢耀赵永蓬王骐
关键词：软X射线激光
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