安徽省自然科学基金(11040606M109)
- 作品数：3 被引量：5H指数：2
- 相关作者：王翔孙浩简伟明廖明星翟中平更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：安徽省自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程化学工程理学更多>>
- 基于双焦距微透镜的半导体激光束准直的研究被引量：3
- 2016年
- 针对半导体激光器光束的准直,从分析光束本征像散的角度出发,给出利用单个双焦距微透镜准直LD光束的方法;理论分析和ZEMAX模拟表明在快慢轴两个方向均为双曲面轮廓的双圆锥曲面透镜能实现对光束快慢轴的同时准直;利用光刻胶热熔融法制作了具有双焦距的椭圆形微透镜,并进行了半导体激光器光束的准直实验,测量光束准直前后的发散角,结果表明双焦距微透镜可以实现准直。
- 廖明星王翔简伟明
- 关键词：激光技术光束准直半导体激光器
- 基于电铸微凸点形貌演变制作微透镜阵列研究
- 2019年
- 微凸点阵列器件的制备及其一致性是微加工领域的难点问题。使用有限元方法对镍电铸过程中的流场分布、反应离子的物质输运以及电化学反应动力学进行耦合,结合网格变形几何技术,实现了不同电流密度和不同阵列节距微凸点电沉积过程形貌的动态仿真,结果表明:小电流密度有利于形成一致性良好的不同填充比的微凸点阵列。并针对电流密度为1 A/dm2,孔径30μm,深50μm,节距分别为150,180,210μm的微孔阵列进行了电铸实验,得到了不同电铸时间下微凸点阵列的沉积形貌,结果与数值模拟面形演变过程相吻合,同时,所得球面形阵列微凸点的底径误差在5μm以内,表现出很好的一致性。并以金属质球凸阵列为模板,结合翻模技术,提出了一种新的微透镜阵列制作方法。
- 谷化雨孙浩王翔
- 关键词：微透镜阵列
- 微细电铸Over-plating成型过程的数值模拟与实验研究被引量：2
- 2012年
- 微细电铸的Over-plating过程对电铸成型金属器件的质量有直接影响。通过有限元方法对微细电铸过程的电场进行建模分析,利用迭代边界法对Over-plating动态过程的阴极电流密度分布进行数值模拟;通过对直径300μm、深100μm微孔结构的电铸实验,得到了不同时间下Over-plating过程的电铸层形貌;实验结果与数值模拟有着很好的一致性,表明基于有限元的迭代边界分析方法是合理的,也为后续对微细电铸Over-plating成型过程的定量分析提供了参考。
- 翟中平王翔孙浩
- 关键词：有限元法数值模拟
