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陕西省教育厅科研计划项目(08JK309)

作品数：1 被引量：3H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇单晶
  • 1篇多传感器
  • 1篇探测器
  • 1篇热释电
  • 1篇热释电探测器
  • 1篇各向异性导电...
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇西安工业大学

作者

  • 1篇金娜
  • 1篇刘卫国

传媒

  • 1篇应用光学

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
单晶热释电探测器混合集成制造方法研究被引量：3
2010年
在比较几种探测器集成制造方法的基础上,提出采用各向异性导电膜作为电信号互联的手段,实现热释电探测器与信号处理电路的混合集成,从而演示了一种兼容性良好的集成化多传感器制造方法。对单晶钽酸锂热释电探测器采取机械研磨减薄获得其薄膜,利用3M的5552R各向异性导电膜,实现了探测器与信号读出电路的互联。对探测器的测试表明:机械研磨减薄获得的钽酸锂薄膜表现出与晶体接近的热释电特性,探测器表现出良好的绝热性质和动态响应特性。
金娜刘卫国
关键词：各向异性导电膜多传感器热释电探测器
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