上海市科学技术发展基金(0111nm020)
- 作品数：4 被引量：18H指数：3
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- 相关机构：上海大学更多>>
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- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程一般工业技术电子电信更多>>
- 基于微制造的多晶硅薄膜型柔性铰链被引量：3
- 2006年
- 将宏机械柔性铰链设计思想应用到硅微机械机构设计中,采用表面硅牺牲层工艺制作了结构层厚度为2 μm 的多晶硅薄膜型微机械柔性铰链及在线测试机构,对微米尺度柔性铰链的微机械性能进行了理论和试验研究。以直圆型多晶硅薄膜柔性铰链为例,对其转动刚度采用现有宏机械柔性铰链理论的计算值为8 N·μm／rad,试验测试结果为120N·μm／rad。宏理论计算和微机械测试结果之间的偏差较大,这表明在微尺度效应的影响下,宏机械柔性铰链理论模型不能直接用于薄膜型硅微机械柔性铰链的计算。根据试验数据对宏机械柔性铰链计算公式进行了修正,得到了描述薄膜型硅微机械柔性铰链静态特性的近似经验公式,可满足薄膜型硅微机械柔性铰链的设计与计算。
- 张永宇陈晓阳赵江铭
- 关键词：微制造多晶硅柔性铰链微机电系统
- V型电致热微驱动器的力学特性分析被引量：11
- 2003年
- 运用能量法推导并建立了一种V型悬臂粱电热微致动器的力学模型。利用该力学模型得到了致动器的力学特性 ,并且与相关的实验结果进行了对比。由理论分析和实验对比发现 。
- 张永宇沈雪瑾陈晓阳
- 关键词：力学特性MEMS热膨胀系数微型机电系统
- 热致动硅微夹钳实验研究被引量：1
- 2005年
- 利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作.电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制.根据所建电热微致动器理论模型,通过分别测试微致动器在空载和驱动工况下的输出位移大小,提出了一种通过公式换算间接确定硅微夹钳驱动力的方法.实验结果表明,电热致动器驱动的硅微夹钳具有很好的电压可控性,最高工作电压可达25V.硅微夹钳的开合位移依热致动器的规格不同在0.7～4μm之间.
- 张永宇沈雪瑾赵江铭陈晓阳
- 关键词：多晶硅微机电系统
- 基于柔性铰链的热驱动微夹钳的实验和仿真分析被引量：4
- 2006年
- 微执行器在整个微机电系统中直接面对其应用对象,需要满足定位精度高,稳定性好,响应速度快,控制方便的要求.柔性铰链以其特殊的性能广泛应用于操作执行器的设计应用中.以一种基于柔性铰链的电热驱动微夹钳为研究对象,通过实验和ANSYS有限元仿真分析对微夹钳的机械性能进行了分析,发现微夹钳端部的输出位移与输入电压基本呈线形关系.通过仿真分析探讨了柔性铰链结构尺寸变化对微夹钳性能的的影响.
- 王旭沈雪瑾张永宇
- 关键词：微执行器柔性铰链
- 热致动硅微夹钳实验研究
- 利用集成的多晶硅电热微致动器,在可控电压下实现了对薄膜型硅微夹钳夹持动作的在线操作。电热微致动器所需要的工作电压低、输出力大、响应时间长,适用于硅微夹钳夹持动作的缓冲及精确控制。根据所建电热微致动嚣理论模型,通过分别测试...
- 张永宇沈雪瑾赵江铭陈晓阳
- 关键词：多晶硅微机电系统
- 文献传递
