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国家自然科学基金(61076085)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：孙恺王明湘更多>>
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相关领域：一般工业技术机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇灵敏度
  • 1篇敏度
  • 1篇霍尔传感器
  • 1篇集中器
  • 1篇感器
  • 1篇硅
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇苏州大学

作者

  • 1篇王明湘
  • 1篇孙恺

传媒

  • 1篇苏州大学学报...

年份

  • 1篇2012
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
一种三轴硅霍尔传感器的研制被引量：2
2012年
介绍了霍尔传感器的工作原理,针对地磁测量的应用制作了基于十字形结构的硅霍尔传感器,并测试了器件灵敏度。测试结果显示灵敏度与器件工作区的掺杂浓度(NS)成反比,与器件十字形结构的长宽比(L/W)成正向依赖关系。详细介绍了磁集中器的原理及集成工艺,测试结果显示制作的器件实现了三轴测量,且三轴输出与理论预期相符。
孙恺王明湘
关键词：灵敏度
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共1页<1>
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