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上海市科委纳米专项基金(1052nm07500)

作品数：2 被引量：6H指数：2
相关作者：张剑平赵彬施利毅更多>>
相关机构：上海市纳米科技与产业发展促进中心上海大学更多>>
发文基金：上海市科委纳米专项基金更多>>
相关领域：化学工程电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇纳米压印
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻胶
  • 1篇有机硅聚合物
  • 1篇紫外纳米压印
  • 1篇脱模
  • 1篇纳米
  • 1篇接触角
  • 1篇硅聚合物
  • 1篇含氟
  • 1篇氟聚合物
  • 1篇NIL

机构

  • 2篇上海大学
  • 2篇上海市纳米科...

作者

  • 2篇施利毅
  • 2篇赵彬
  • 2篇张剑平

传媒

  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
含氟紫外纳米压印光刻胶的研制被引量：5
2012年
从主体树脂性质、光引发剂的选择、助剂的选择、溶剂的设计等多个方面论述了含氟纳米压印光刻胶的研制工艺。在纯有机材料为主体的光刻胶中引入了全氟丙烯酸酯助剂,解释了含氟助剂在光刻胶中的作用。使用接触角法评估了全氟丙烯酸酯对光刻胶表面性质的影响,并通过接触角数据预测了光刻胶的脱模能力。通过旋涂、压印、刻蚀等实验验证了光刻胶的性能,并通过实验数据筛选出了最佳配方。研制出的光刻胶样品图形保真度高、分辨率好,对底材有良好的黏附力,且具有良好的脱模能力。
赵彬周伟民张静刘彦伯王金合张燕萍施利毅张剑平
关键词：紫外纳米压印光刻胶接触角脱模
纳米压印光刻胶被引量：2
2011年
光刻胶是纳米压印的关键材料,其性能将影响压印图形复制精度、图形缺陷率和图形向底材转移时刻蚀选择性。提出了成膜性能、硬度黏度、固化速度、界面性质和抗刻蚀能力等压印光刻胶的性能指标。并根据工艺特点和材料成分对光刻胶分类,介绍了热压印光刻胶、紫外压印光刻胶、步进压印式光刻胶和滚动压印式光刻胶的特点以及碳氧类纯有机材料、有机氟材料、有机硅材料做压印光刻胶的优缺点。列举了热压印、紫外压印、步进压印工艺中具有代表性的光刻胶实例,详细分析了其配方中各组分的比例和作用。介绍了可降解光刻胶的原理。展望了压印光刻胶的发展趋势。
赵彬张静周伟民王金合刘彦伯张燕萍施利毅张剑平
关键词：氟聚合物有机硅聚合物
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