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国家自然科学基金(61076076)

作品数:4 被引量:0H指数:0
相关作者:张卫丁士进李连杰朱宝张秋香更多>>
相关机构:复旦大学上海建桥学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家教育部博士点基金NSAF联合基金更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术更多>>

文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 4篇电子电信
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 1篇电路
  • 1篇栅控
  • 1篇栅控二极管
  • 1篇射频集成
  • 1篇射频集成电路
  • 1篇退火
  • 1篇热退火
  • 1篇重掺杂
  • 1篇介电
  • 1篇介电常数
  • 1篇金属
  • 1篇绝缘
  • 1篇绝缘介质
  • 1篇绝缘体
  • 1篇快速热退火
  • 1篇集成电路
  • 1篇二极管
  • 1篇高介电常数
  • 1篇ORGANI...
  • 1篇PRODUC...

机构

  • 3篇复旦大学
  • 1篇上海建桥学院

作者

  • 2篇丁士进
  • 2篇张卫
  • 1篇刘昕彦
  • 1篇朱宝
  • 1篇林曦
  • 1篇王鹏飞
  • 1篇臧松干
  • 1篇张秋香
  • 1篇朱宝
  • 1篇李连杰

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇微电子学
  • 1篇Chines...

年份

  • 1篇2015
  • 1篇2014
  • 3篇2012
4 条 记 录,以下是 1-5
排序方式:
Pt纳米颗粒辅助化学刻蚀重掺杂p型单晶硅研究
2012年
首先在SiO2/Si衬底上磁控溅射了一层超薄Pt薄膜,并通过快速热退火形成了分离的Pt纳米颗粒阵列。接着研究了在氢氟酸和双氧水的混合溶液中Pt纳米颗粒辅助化学刻蚀重掺杂p型单晶硅片的特性。结果表明,当氢氟酸的浓度为1.06 mol/L时,样品表面分布着许多Pt岛链,在硅衬底表面没有观察到任何孔洞;当氢氟酸的浓度上升到5.3 mol/L时,样品表面起伏不平,出现许多大小不一的小丘,岛链状Pt减少;当氢氟酸的浓度增加到26.5 mol/L时,样品表面出现大量的孔洞,Pt岛链进一步减少。通过对样品的剖面结构进行观察,发现硅衬底中形成了致密的介孔,同时还观察到底部含有Pt岛状物的不规则沟槽,并且介孔的生长速率快于沟槽。最后,对上述实验现象的形成机制进行了讨论。
朱宝李连杰丁士进张卫
关键词:快速热退火
一种新型高速嵌入式动态随机存储器
2012年
基于二维器件模拟工具,研究了一种采用栅控二极管作为写操作单元的新型平面无电容动态随机存储器。该器件由一个n型浮栅MOSFET和一个栅控二极管组成。MOSFET的p型掺杂多晶硅浮栅作为栅控二极管的p型掺杂区,同时也是电荷存储单元。写"0"操作通过正向偏置二极管实现,而写"1"操作通过反向偏置二极管,同时在控制栅上加负电压使栅控二极管工作为隧穿场效应晶体管(Tunneling FET)来实现。由于正向偏置二极管和隧穿晶体管开启时接近1μA/μm的电流密度,实现了高速写操作过程,而且该器件的制造工艺与闪烁存储器和逻辑器件的制造兼容,因此适合在片上系统(SOC)中作为嵌入式动态随机存储器使用。
臧松干王鹏飞林曦刘昕彦丁士进张卫
关键词:栅控二极管
Determining the influence of ferroelectric polarization on electrical characteristics in organic ferroelectric field-effect transistors
2015年
Organic ferroelectric field-effect transistors (OFeFETs) are regarded as a promising technology for low-cost flexible memories. However, the electrical instability is still a critical obstacle, which limits the commercialization process. Based on already established models for polarization in ferroelectrics and charge transport in OFeFETs, simulation work is performed to determine the influence of polarization fatigue and ferroelectric switching transient on electrical characteristics in OFeFETs. The polarization fatigue results in the decrease of the on-state drain current and the memory window width and thus degrades the memory performance. The output measurements during the ferroelectric switching process show a hysteresis due to the instable polarization. In the on/off measurements, a large writing/erasing pulse frequency weakens the polarization modulation and thus results in a small separation between on- and off-state drain currents. According to the electrical properties of the ferroelectric layer, suggestions are given to obtain optimal electrical characterization for OFeFETs.
浮宗元张剑驰胡静航蒋玉龙丁士进朱国栋
Morphological and optical properties of silicon nanoholes produced by Pt-nanoparticles assisted chemical etching
Silicon nanoholes have been fabricated in heavily doped P-type single-crystalline silicon via Pt-nanoparticles...
Bao ZhuLian-Jie LiShi-Jin DingWei Zhang
射频集成电路用高性能金属—绝缘体—金属电容的研究
2014年
随着无线通讯技术的快速发展,高性能金属-绝缘体-金属(MIM)电容器已引起人们的极大关注,成为下一代射频集成电路的必然选择。本文从MIM电容的技术背景、制备方法、绝缘介质的设计以及电极材料几个方面,对MIM电容器件的研究进展进行了较全面的综述,可望为开发下一代射频集成电路用高性能MIM电容提供技术指导。
张秋香朱宝丁士进
关键词:高介电常数绝缘介质
共1页<1>
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