国家自然科学基金(11075158)
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 相关作者：朱晓东丁芳王建龙汤中亮张一川更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学中国科学院等离子体物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金更多>>
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- 低气压直流弧斑等离子体除去钢铁表面氧化层的实验研究
- <正>在冶金工业中,钢铁表面处理是一道必须工艺。钢铁刚出炉时,表面会紧紧依附着一薄氧化层。通常将钢铁表面氧化层除去的工艺称为除鳞。目前工业中主要使用的除鳞工艺有机械除鳞(喷丸、磨料、高压水等)和酸洗两种方法。前者是利用动...
- 汤中亮吴瑞珉杨赛丹杨宽朱晓东
- 文献传递
- 中国科大低温等离子体研究进展——放电物理基础及材料应用
- <正>低温等离子体研究范围极广,涉及等离子体产生、等离子体放电机理和等离子体应用。无论是低温等离子体本身的特性研究、还是等离子体应用过程中的机理研究,都是充满挑战的研究领域,存在着大量尚不清楚和未知的问题。等离子体源是低...
- 朱晓东马锦秀刘万东李弘谢锦林
- 文献传递
- 高气压均匀直流辉光放电等离子体的光学特性被引量：5
- 2015年
- 在高气压(大于100 Torr,1 Torr=1.33322×102Pa)平板位形的均匀直流辉光放电中,一定条件下观察到平行排列的明暗相间的等离子体辉纹.结合等离子体的光发射谱诊断,研究了气体组分对等离子体光学特性的影响.研究发现,随着甲烷浓度的增加,辉纹间距减小,相应的电子激发温度降低.当甲烷浓度增加时,等离子体中低电离能的粒种增加,粒子平均电离能减小,这种情况下,电子被电场加速较短的距离所获得的能量就可以激发粒子,产生可见的光发射,表现为辉纹间距缩短.随着氩气的引入,能够观察到明显的辉纹,且增大氩气含量,辉纹间距增加,这与氩的较高电离能有关,而相应的电子激发温度增加.研究结果表明,随着工作气体的改变,等离子体辉纹间距呈现出一种对电子温度的响应.
- 王建龙丁芳朱晓东
- 关键词：等离子体光学特性
- 微波ECR氮-氩等离子体离子特征及制备FeN磁性薄膜的研究
- <正>在等离子体材料加工过程中,离子起着不可或缺的作用,在包括离子注入、等离子体刻蚀与沉积在内的等离子体工艺中都扮演着关键的角色。了解放电所产生的各种离子的行为,包括离子的种类、能量分布等参数,对于材料的表面形貌、结构乃...
- 张一川谢新华郑仕健汤中亮李唤朱晓东
- 文献传递
- 高气压直流辉光CH_4/H_2等离子体的气相过程诊断被引量：1
- 2013年
- 对高气压(约100Torr)直流辉光碳氢等离子体的气相过程进行了光谱和质谱原位诊断.在高气压下,等离子体不同区域光发射特性存在明显差异.正柱区存在着以C2和CH为主的多个带状谱和分立谱线,阳极区粒子发射谱线明显减少,而在阴极区则出现大量复杂的光谱成分,表明高气压情形下等离子体与阴极间强烈的相互作用将导致复杂的原子分子过程.从低气压到高气压演变过程中,电子激发温度降低而气体分子转动温度升高.在高气压下,高甲烷浓度导致C2,C2H2及C2H4增多而C2H6减少.表明在高气压条件下,气体温度对气相过程的影响作用显著增强.
- 郑仕健丁芳谢新华汤中亮张一川李唤杨宽朱晓东
- 关键词：质谱
- 微波ECR氮-氩等离子体离子特征及制备FeN磁性薄膜的研究
- 在等离子体材料加工过程中,离子起着不可或缺的作用,在包括离子注入、等离子体刻蚀与沉积在内的等离子体工艺中都扮演着关键的角色。了解放电所产生的各种离子的行为,包括离子的种类、能量分布等参数,对于材料的表面形貌、结构乃至材料...
- 张一川谢新华郑仕健汤中亮李唤朱晓东
- 低气压直流弧斑等离子体除去钢铁表面氧化层的实验研究
- 在冶金工业中,钢铁表面处理是一道必须工艺。钢铁刚出炉时,表面会紧紧依附着一薄氧化层。通常将钢铁表面氧化层除去的工艺称为除鳞。目前工业中主要使用的除鳞工艺有机械除鳞(喷丸、磨料、高压水等)和酸洗两种方法。前者是利用动能的机...
- 汤中亮吴瑞珉杨赛丹杨宽朱晓东
