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南通市重大科技创新专项项目(XA2009014)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：王强张竹青张华花国然沈明荣更多>>
相关机构：江苏综艺光伏有限公司南通大学苏州大学更多>>
发文基金：南通市重大科技创新专项项目南通市应用研究计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇电池
  • 1篇选择性
  • 1篇掩模
  • 1篇太阳电池
  • 1篇光谱响应
  • 1篇SI3N4
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇苏州大学
  • 1篇南通大学
  • 1篇江苏综艺光伏...

作者

  • 1篇沈明荣
  • 1篇花国然
  • 1篇张华
  • 1篇张竹青
  • 1篇王强

传媒

  • 1篇半导体光电

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于Si_3N_4掩模的太阳电池选择性掺杂工艺研究被引量：5
2013年
设计了基于Si3N4掩模的太阳电池选择性掺杂工艺,并对其工艺参数进行了仿真优化。选择性掺杂电池的一次掺杂条件为仿真所得最佳非选择性掺杂电池的工艺参数。运用SILVACO软件分别对选择性掺杂的时间、预淀积浓度和温度进行了仿真研究。仿真结果表明,随着选择性掺杂的预淀积浓度的增加,光谱响应率先增加后降低;随着扩散温度和扩散时间的增加,电池的光谱响应率逐渐减小。所得最佳选择性掺杂工艺参数为预淀积磷硅玻璃杂质浓度1×1019 cm-3、扩散温度800℃、扩散时间5min。
王强张竹青沈明荣花国然张华李志锋
关键词：太阳电池光谱响应
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