大连市科技计划项目(2004A1GX086)
- 作品数：3 被引量：18H指数：2
- 相关作者：丛明杜宇金立刚周玉敏张士军更多>>
- 相关机构：大连理工大学更多>>
- 发文基金：大连市科技计划项目国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 硅片预对准机器人边缘信息采集处理方法被引量：2
- 2008年
- 针对90 nm工艺、300 mm直径大尺寸硅片对制造设备的新要求,提出一种硅片边缘信息采集、处理方法,并在此基础上建立硅片预对准机器人视觉系统。该方法在小波阈值折衷去噪的基础上,利用最小二乘回归拟合和坐标加权平均的数值方法,通过对硅片边缘特征点的标定、过滤、综合和提取,有效地实现CCD采集信号向特征位置数据的转换,解决大尺寸硅片位置信息的获取和分析问题。重复定位精度测量试验结果表明,硅片预对准机器人视觉系统完成了硅片中心、缺口的检测定位,硅片预对准机器人对准精度达到了技术指标的要求,提高了整套硅片预对准系统的工作性能。
- 丛明孔祥吉刘静杜宇
- 关键词：视觉系统
- 基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现被引量：10
- 2006年
- 在半导体制造业中,硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务,这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求,因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国DeltaTauDataSystems公司的PMAC多轴运动控制器为例介绍了PMAC在硅片传输机器人控制器中的开发与应用,并以该公司的PMAC2-PC104型控制卡为核心,结合电气和气动回路,设计和建立了R-θ型(径向直线运动型)硅片传输机器人的开放式控制器,实现了硅片传输机器人的运动控制。
- 丛明张士军周玉敏金立刚
- 关键词：硅片传输机器人PMAC机器人控制器
- 硅片传输单元洁净系统的研制被引量：7
- 2006年
- 在集成电路制造的硅片传输过程中,硅片传输机器人等机械设备的运动会产生尘埃粒子污染硅片。为解决这一问题,设计并研制了硅片传输单元的洁净系统,分析了该洁净系统的设计方案和结构设计,计算了它的送回风管直径,并用计算流体力学的方法,对洁净系统内部的硅片传输机器人区域进行了流场的模拟分析。该洁净系统已达到设计要求。
- 丛明杜宇沈宝宏
