广州市科技计划项目(2006Z3-D0041)
- 作品数：7 被引量：18H指数：3
- 相关作者：周金运李文静林清华王鲁宾宋超更多>>
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- 相关领域：电子电信更多>>
- PCB激光投影成像装置关键技术参数分析被引量：5
- 2007年
- 对用于印制电路板(PCB)工业化生产的激光投影成像装置中的激光投影系统和激光照明系统的关键技术参数进行了分析,在对装置整体性能设计要求下,理论推导和分析了符合实际场景的关键技术参数,包括分辨率、焦深、物镜结构、激光光源、照明相干度、像素密度和曝光时间,得到了相关的具有一定参考价值的结论。
- 林清华李文静周金运
- 关键词：印制电路板
- 基于视频共焦显微镜光刻对准系统设计研究
- 2008年
- 针对目前研究的激光投影光刻机的对准需要,设计了一套基于视频图像对准原理的激光投影光刻对准系统。详细分析了共焦显微镜和CCD相关双采样图像处理关键技术在本系统中的应用,结果表明CCD图像的质量明显提高,从而提高了视频图像对准系统的精度,完全满足系统分辨精度2.5μm的要求。
- 王鲁宾周金运宋超
- 关键词：视频图像共焦显微镜相关双采样
- PCB激光投影光刻照明系统的设计被引量：1
- 2007年
- 针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的照明系统,其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系统与投影物镜的匹配都符合实际要求.
- 林清华李文静宋超王鲁宾
- 关键词：印制电路板照明系统
- 基于微流体芯片的准分子激光微加工技术的研究进展
- 2009年
- 微流体芯片作为一种新型的生物芯片被广泛应用在生命科学等领域,而准分子激光在生物芯片加工过程中有着快速、可控和高效的特点,正逐渐应用于微流体芯片的制造,并有着广阔的发展前景。简要介绍了微流体芯片的技术特点,重点介绍了近年来国外基于微流体芯片制作的准分子激光微加工技术的研究进展和应用,分析了影响准分子激光加工微流体芯片技术发展的因素,并对此技术的今后发展趋势进行了展望。
- 刘逸轩周金运陈宇星
- PCB激光投影成像扫描技术分析被引量：6
- 2007年
- 通过对印制电路板激光投影成像技术使用的步进重复扫描和六边形无接缝扫描方法进行比较,揭示了六边形无接缝扫描技术的优越性能,对六边形无接缝扫描技术的均匀曝光过程及其实现的原理进行了阐述,并对影响扫描成像的曝光量和曝光速度等因素进行了分析．
- 林清华李文静周金运
- 关键词：激光技术印制电路板
- 248 nm Krf激光投影成像系统设计与参数分析
- 2008年
- 对用于需要微米级线宽的平板显示器件、光电子与微电子产品等工业化生产中的激光投影成像(LPI)装置中的激光投影系统和激光照明系统的关键技术参数进行了分析.以248nmKrF深紫外激光作为光源,在装置整体性能设计要求下,理论推导和分析了符合实际场景的关键技术参数,包括分辨率、焦深、激光光源、曝光时间.得到了相关的具有一定参考价值的结论.
- 陈宇星周金运梁国均刘逸轩
- 关键词：焦深分辨率
- 折叠式激光投影光刻物镜的设计研究被引量：7
- 2007年
- 针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析。对于设计的激光投影系统,其特征尺寸分辨力达到了9μm,全视场波像差小于λ/4,畸变小于0.000007%,这些指标符合实际要求。
- 李文静周金运林清华
- 关键词：投影物镜光学设计
