中国石油化工集团公司科技攻关项目(201074)
- 作品数：4 被引量：25H指数：3
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- 相关机构：中国石化股份有限公司中国石油化工股份有限公司中国石化更多>>
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- 相关领域：化学工程理学更多>>
- 色谱纯乙腈的性能和质量评价被引量：3
- 2003年
- 利用紫外分光光度计和高效液相色谱仪建立了色谱纯乙腈的性能和质量的评价方法。在5种色谱条件下,分别考察了乙腈溶剂的基线稳定性,通过对人参总皂甙、红参注射液、大黄酸中的有效成分和川芎酯类部分提取物的分析,评价了几种国产色谱纯乙腈和进口色谱纯乙腈的性能和质量优劣。实验结果表明,几种国产色谱纯乙腈同进口色谱纯乙腈相比,虽然基本上能满足色谱分析要求,但质量有待进一步提高。
- 王长明汪道明邱晓生郑学根阳晓辉汪六四
- 关键词：紫外分光光度法高效液相色谱
- 一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用
- 通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析、MOS电容测量三个方面进行了应用实验,结果表明...
- 郑学根邱晓生汪道明
- 关键词：高纯试剂半导体
- 文献传递
- 色谱级乙腈的研制技术被引量：1
- 2010年
- 以工业乙腈为原料,采用氧化-精馏-吸附-干燥的组合工艺制备了色谱级乙腈,讨论了氧化精馏和吸附的工艺条件,应用结果表明其实用效果达到了进口色谱乙腈的标准,明显优于国内生产的同类产品。
- 郑学根吴全法
- 关键词：高效液相色谱乙腈
- 一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用
- 通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析、MOS电容测量三个方面进行了应用实验,结果表明...
- 郑学根邱晓生汪道明
- 关键词：高纯试剂半导体
- 一种新型超净高纯试剂在半导体技术中的应用被引量：10
- 2005年
- 通过对新型超净高纯试剂同常规CMOS酸碱试剂同时进行CMOS工艺中栅氧化前的清洗实验,从清洗后硅片残留金属量的电感耦合高频等离子体原子发射光谱分析、硅片表面形貌的AFM分析和MOS电容测量三个方面进行了应用实验。结果表明,以超净高纯乙腈为主要组分的新型试剂,其清洗效果总体优于常规CMOS酸碱试剂,可以考虑在半导体器件相应清洗工艺中采用。
- 郑学根邱晓生汪道明
- 关键词：高纯试剂半导体清洗工艺
- 超净高纯乙腈的研制被引量：14
- 2004年
- 以工业乙腈为原料,采用干燥脱水-亚沸蒸馏-膜过滤组合工艺,制备出超净高纯乙腈,讨论了实验室洁净度、实验设备和器皿的材质、亚沸蒸馏次数、膜种类、膜孔径等因素对产品质量的影响。平行实验结果表明,在优化条件下,能够制备质量稳定的超净高纯乙腈产品,应用评价结果显示其清洗效果总体优于常规补充金属氧化物半导体级酸碱清洗液,可应用在半导体器件相应的清洗工艺中。
- 郑学根邱晓生王长明阳晓辉
- 关键词：高纯乙腈半导体
