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江苏省高校自然科学研究项目(08KJB140007)
作品数:
1
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相关作者:
陈浩
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射频磁控反应溅射制备TiO_2薄膜
被引量:1
2010年
研究采用射频磁控溅射的方法在石英玻璃基片上制备TiO2薄膜的最佳工艺条件.薄膜的相组成和微观组织分别采用XRD、SEM和AFM来分析.实验表明:在450℃的基片温度下,使用0.8 Pa的工作气压和20∶2的Ar∶O2流量比可以获得单一锐钛矿相的TiO2薄膜.紫外光照射分解甲基橙的实验表明具有单一锐钛矿相的TiO2薄膜具有较好的光催化能力,可以有效降解有机分子.
陈浩
李金泽
厉以宇
苏晓东
关键词:
TIO2薄膜
射频磁控溅射
光催化
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