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中国人民解放军总装备部预研基金(51409030205)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：陈晨赵猛郭丽君厉宝增石邦任更多>>
相关机构：长春理工大学更多>>
发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇谐振腔
  • 1篇环形谐振腔
  • 1篇集成光学
  • 1篇光学

机构

  • 1篇长春理工大学

作者

  • 1篇石邦任
  • 1篇厉宝增
  • 1篇郭丽君
  • 1篇赵猛
  • 1篇陈晨

传媒

  • 1篇兵工学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
微型光学陀螺用光波导环形谐振腔的优化设计与制备
2010年
光波导环形谐振腔是微型光学陀螺的核心敏感部件,其性能直接影响陀螺系统的性能,是此种陀螺设计和制造的关键。利用广角有限差分光束传播法(WA-BPM)对二氧化硅光波导环形谐振腔进行了优化设计;在优化设计的基础上,在硅衬底上利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法制备了掺GeO2的二氧化硅光波导环形谐振腔芯片,并通过了实验测试,其测量精细度可达16.7,可为今后集成光学陀螺的小型化和高灵敏度提供理论参考。
郭丽君石邦任厉宝增赵猛陈晨
关键词：光学集成光学环形谐振腔
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