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国家重点基础研究发展计划(2011GB107000)
作品数:
1
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相关作者:
申卫华
郑殊
王正汹
刘悦
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大连理工大学
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KMC模拟活性剂作用下的薄膜外延生长
2012年
运用动力学蒙特卡罗方法模拟了两种原子组成的薄膜外延生长时的形貌,给出了一种原子作为活性剂时的同质外延生长情况,从动力学角度模拟了表面活性剂向上漂浮的行为,模拟结果发现,在原子间结合能满足Eaa〉EBB〉EAB时,在基底上先沉积少量活性剂原子薄膜更趋于向层状模式生长;温度越高,活性剂原子越容易与沉积原子发生交换,薄膜表面更加光滑平整。同时,也发现活性剂原子的漂浮行为对温度有一个敏感的临界温度,大于这个温度时,活性剂原子呈现漂浮行为。
申卫华
郑殊
王正汹
刘悦
关键词:
结合能
表面活性剂
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