浙江省科技计划项目(2008C21055)
- 作品数：1 被引量：12H指数：1
- 相关作者：周毅汪爱英更多>>
- 相关机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所更多>>
- 发文基金：宁波市自然科学基金浙江省科技计划项目更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 线性离子束制备高性能、大面积类金刚石薄膜的研究
- 类金刚石薄膜(Diamond-Like Carbon,DLC)是一类非晶碳薄膜材料的统称,主要由含有一定量的sp金刚石相碳的网络结构和sp石墨相的团簇混合交叉而成,依含氢的有无可细分为氢化类DLC(a-C:H)薄膜和不含...
- 代伟孙丽丽吴国松汪爱英
- 关键词：DLC膜力学特性微结构
- 文献传递
- 镁合金表面氮化铬薄膜的制备与性能研究
- 镁合金质地轻,比强度高、导热性好、加工性能优良,在航空航天工业、交通、光学仪器、电子工业、电讯、音响材料等领域的应用日益广泛。但是镁合金的力学性能低,耐蚀性能差,严重影响其在一些关键场合长期使用,因此必须对镁和镁合金采取...
- 吴国松孙丽丽代伟郑贺汪爱英
- 关键词：镁合金反应溅射耐磨性耐蚀性
- 文献传递
- 多样品分析法测定吸收薄膜的厚度与光学常数的研究
- 薄膜的厚度d,折射率n和消光系数k决定了薄膜的反射、透射、吸收和偏振等各种光学特性。随着光电技术以及微电子技术的快速发展,薄膜的应用领域越来越广,各种单层或多层纳米功能薄膜是当前材料研究的热点,精确测量薄膜的厚度以及光学...
- 周毅孙丽丽汪爱英
- 关键词：光学常数类金刚石薄膜
- 文献传递
- 铬掺杂类金刚石薄膜的制备、结构与性能研究
- 类金刚石因具有很多类似于金刚石的优异物化性能,如高硬度、良好化学惰性、优异的摩擦性能、极佳生物亲和性等。在力学、热学、光学、电学、生物医学等领域具有巨大的应用前景,近年来已引起人们的广泛关注并取得了较大进展。然而,DLC...
- 代伟吴国松孙丽丽张栋汪爱英
- 关键词：力学性能微结构
- 文献传递
- 多样品法确定类金刚石薄膜的光学常数与厚度被引量：12
- 2010年
- 采用乙烷气体辉光放电法在单晶Si衬底上制备了名义厚度分别为75,150和250nm的类金刚石碳(DLC)薄膜,除沉积时间外其他工艺参数完全一致。使用可变入射角光谱型椭偏仪(VASE)测量了380～1700nm波段的椭偏谱。该研究发现,对单一DLC样品的椭偏数据进行分析时,一定的范围内,假定不同的薄膜厚度均可以得到非常好的拟合结果。结果表明,采用单样品椭偏法拟合时,厚度与光学常数呈现出强烈的关联性,无法快速获得准确的结果。采用多样品椭偏法,对三个样品建立相同的物理模型,假定他们的光学常数相同,进行数据拟合。分析发现该方法可以快速、简便地获得精确的折射率、消光系数以及厚度值。经过检验,结果具有非常好的唯一性。
- 周毅汪爱英
- 关键词：薄膜光学光学常数类金刚石
