目前光栅机械刻划加工是采用在铬、玻璃等基底上通过真空蒸镀一层微米级铝薄膜后,用金钢石刻划刀作直线往复运动加工而成,蒸镀复合铝薄膜的力学性能对刻划成槽的质量影响较大,受铝薄膜真空蒸镀工艺及尺度效应的影响,各批次铝薄膜质量相差也较大。针对当前仅依靠经验估测铝薄膜质量所带来的问题,采用XRD(X-ray diffraction X-射线衍射)与SEM(scanning electron microscope)实验对铝薄膜微结构进行表征,采用纳米压入测试技术对带玻璃基底铝薄膜力学性能进行分析。研究结果表明,分层镀膜是较好控制晶粒尺寸的方法,力学性能受薄膜平均晶粒尺寸与基底影响较大,随着压入深度的增加,弹性模量与硬度呈下降趋势。
