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国家自然科学基金(60177014)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：王辉宋航蒋红赵海峰缪国庆更多>>
相关机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇碳化硅
  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇SIC材料
  • 1篇HFCVD

机构

  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇李志明
  • 1篇金亿鑫
  • 1篇缪国庆
  • 1篇赵海峰
  • 1篇蒋红
  • 1篇宋航
  • 1篇王辉

传媒

  • 1篇液晶与显示

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
HFCVD法制备SiC材料及室温光致发光被引量：2
2004年
利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)以CH4和SiH4作为反应气体在Si衬底上制备了SiC薄膜。用X射线衍射(XRD)、傅立叶红外吸收谱(FTIR)等手段对样品进行了结构和组分分析,分析结果表明已经在Si衬底上制备了SiC薄膜。对所制备的SiC薄膜进行了光致发光测试,在室温下观察到了薄膜峰值位于417nm和436nm的较强的可见光发射,认为这两个相近的蓝光发射起源可能是光激发载流子从SiC晶粒核心激发,然后转移到SiC晶粒表面发光中心上的辐射复合。
王辉宋航金亿鑫蒋红缪国庆李志明赵海峰
关键词：光致发光碳化硅HFCVD
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