国家自然科学基金(10575076)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
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- SU-8平面抛物形折射透镜的设计与研制
- 在上海,现正在建设第三代同步辐射光源,第一期工程完工后将建有7条光束线。在这种形势下,自主设计和制造第三代同步辐射光源上使用的X射线聚焦与成像元件变得越来越重要。作为应用于第三代同步辐射光源的重要一种X射线元件,复合折射...
- 黄承超徐垚王占山陈玲燕田扬超刘刚
- 文献传递
- 复合折射透镜的进展和应用
- 2008年
- 文章介绍了X射线复合折射透镜的工作原理,详细回顾了X射线复合折射透镜的发展历程,综述了近年来X射线复合折射透镜的研究成果及其主要应用领域.
- 黄承超穆宝忠王占山陈玲燕
- 关键词：X射线光学
- SU-8平面抛物形折射透镜的设计与研制被引量：1
- 2007年
- 作为应用于第三代同步辐射光源的一种重要X射线元件,复合折射透镜成为近年来X射线光学研究的热点之一。平面抛物形折射透镜是复合折射透镜的重要一种。研究过程中,考虑到X射线衍射仪的特定检测环境及随后加工上的技术要求,优化设计了透镜各个参数,用ZEMAX软件对透镜进行光线追迹,模拟验证了设计结果。单组透镜的几何孔径为250μm,焦距为30 cm。共设计30组透镜,透镜个数从1个变化到30个,相应的抛物形顶点处的曲率半径从1.23μm变化到37μm。在光子能量为8.05 keV条件下,透镜的理论透过率从43.3%变化到33.2%。焦斑直径均在微米量级。采用紫外光刻微加工技术,制作了SU-8光刻胶平面抛物形折射透镜。透镜厚度为224μm。透镜光学性能的测试正在进行中。
- 黄承超徐垚王占山陈玲燕田扬超刘刚
- 关键词：X射线X射线衍射仪SU-8紫外光刻
