国家自然科学基金(60777003)
- 作品数：7 被引量：18H指数：3
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- 相关机构：华中科技大学中国科学院武汉国家光电实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国防科技重点实验室基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 折射微光学结构出射复杂光学波前
- 2008年
- 通过单掩模紫外(UV)光刻、感应耦合等离子体(ICP)刻蚀及KOH∶H2O化学腐蚀,在硅片上制作5×5元面阵硅折射微光学结构.通过电化学方法将制成的硅精细图形结构转换成镍版,进而通过压制法将精细的镍版图形进一步转印到有机玻璃材料上,从而制成面阵光学波前出射结构.光刻版由结构尺寸在微米量级的大量微孔组成,其特征尺度和排布方式由算法生成.微形貌测试显示了制作的折射微光学波前出射结构具有预期的表面形貌特征.通过常规光学测试,比较和分析了出射复杂波前的情况.
- 张新宇李记赛季安谢长生
- 关键词：光电子学波前
- 非球面凹透镜阵列的设计制作与性能研究
- 基于单晶硅的各向异性腐蚀特性,采用两步湿法腐蚀制作出非球面凹透镜阵列。第一步湿法腐蚀,利用[100]面与[111]面腐蚀特性不同和腐蚀自动停止的原理在硅表面形成形态良好的倒金字塔结构;在第二步腐蚀中,利用[111]面与[...
- 魏明月张新宇张天序
- 关键词：非球面各向异性
- 文献传递
- 硅各向异性腐蚀掩膜版的高效率高精度设计
- 采用[100]晶向硅在KOH:H2O中的两步各向异性腐蚀制作各种微光学结构。此方法的关键步骤是掩膜版图的设计,根据要得到的期望的轮廓,通过计算机编程实现一组算法设计版图,并在设定一系列参数后,可以仿真得出最终腐蚀出来的轮...
- 李斌魏明月张新宇谢长生张天序
- 关键词：掩膜版
- 文献传递
- 红光高清存储衍射物镜的设计与制作
- 通过优化算法,并采取标准微纳工艺,制作出红光高清衍射微透镜。在设计过程中,采用了瑞利-索末菲积分变换对传统的G-S算法进行优化,使仿真算法更为精确,提高了物镜的衍射效率。制作过程中,采用单步光刻和两次湿法腐蚀的加工工艺,...
- 魏明月李斌张新宇谢长生张天序
- 关键词：湿法腐蚀
- 文献传递
- 红光高清光存储光学头衍射物镜的研究
- 介绍了采用迭代角谱算法设计高性能红光高清光存储光学头衍射物镜,并利用基于标准微纳工艺的单步光刻和湿法腐蚀制作出原理性衍射物镜的方法。对其进行表面形貌测试显示,所制原理性物镜由预期的高度在亚微米量级的多台阶连续浮雕结构组成...
- 王猛柳波张新宇谢长生张天序
- 关键词：电子束曝光湿法腐蚀
- 文献传递
- 128×128元频率驱动变焦液晶透镜阵列被引量：7
- 2010年
- 理论上分析并从实验上验证了通过改变外加电场的频率来驱动的128×128元变焦液晶透镜阵列。将上电极设计为圆孔阵列,由于圆孔电极在单元区域内形成的非均匀电场分布,从而使液晶分子在不同位置处旋转角度不同,在液晶层内形成了折射率梯度分布,由此单元区域具有了光学聚焦特性。分析了由于外加电场频率改变引起液晶介电常数变化给液晶透镜阵列焦距带来的影响。实验中制作的液晶透镜阵列的焦距调节范围为20～600μm,焦点尺寸为10μm,响应时间为微秒量级,可以呈清晰的多重影像。通过使用外加电场的频率可以得到变焦液晶透镜阵列,降低了液晶透镜阵列的工作电压,提升了液晶透镜阵列工作响应速度。
- 李晖刘侃张新宇张天序沈绪榜
- 关键词：光学器件自适应光学
- 利用硅各向异性腐蚀制作各种微光学结构
- 利用[100]晶向硅在KOH:H2O中经过两步各向异性腐蚀制作各种微光学结构。此方法的关键步骤是掩膜版图的设计。本研究通过计算机编程实现一组版图设计算法,根据期望的轮廓,设定一系列参数后,可以仿真得出最终腐蚀出来的轮廓。...
- 李斌张新宇谢长生张天序
- 关键词：掩膜版
- 文献传递
- 一种新型液晶透镜的光学成像特性研究被引量：7
- 2009年
- 在前人的单圆孔电极液晶透镜的基础上进行了改进,使用聚酰亚胺取代玻璃作为绝缘层,得到了通光孔径为2mm、工作电压最低为1.1Vrms的新型液晶透镜.结合几何光学和液晶理论提出了不同于前人解释液晶透镜原理的模型,推导出该液晶透镜的焦距公式以及相位延迟公式.在1.1～20Vrms电压范围下测试,得到与公式计算值基本一致的该液晶透镜的焦距范围20～480mm.重点研究了该液晶透镜的调制传递函数（MTF）,发现该液晶透镜的光学成像能力与控制电压成正比关系,随着电压的增大该液晶透镜的成像性能逐渐增强.
- 李晖张新宇张天序沈绪榜
- 关键词：自适应光学
- 电控可变焦128元×128元自适应液晶微透镜阵列被引量：7
- 2009年
- 基于已有的单圆孔电极液晶透镜的结构与设计方法,研制了新型的电控可变焦128元×128元液晶微透镜阵列。该面阵液晶微透镜使用氧化铟锡(ITO)玻璃作为上下基板,上电极通过光刻技术和盐酸腐蚀方法得到128元×128元圆孔阵列图案;下电极为ITO膜。上电极的圆孔阵列排列整齐,每个圆孔的直径为50μm,圆孔之间的间隔为100μm,夹在上下基板之间的液晶层的厚度为20μm。验证了该面阵液晶微透镜的光学特性,结果表明,在0.2~5.0 V(RMS),该面阵液晶微透镜的焦距为50~400μm,焦点的焦斑尺寸在10μm左右,点扩展函数值近似于理论数值。该面阵液晶微透镜的工作电压与焦距成反比,可以成清晰的多重像。
- 李晖张新宇张天序沈绪榜
- 关键词：自适应光学液晶
- 红外衍射微光学元件的湍流波前模拟和再现(英文)
- 2014年
- 基于衍射微光学理论,发展了一种面向红外波段衍射微光学元件的设计和制作方法。采用标准半导体技术工艺流程制作了若干个器件。文中设计的红外衍射元件主要用于形成复杂的光场,其振幅和相位都能有效地得到控制。所制造的衍射微光学元件,通过在元件表面形成良好的相位图案,把普通的高斯光束转换成所需要的经大气湍流环境影响后的图形。该结构能够被用于产生湍流波前从而模拟大气湍流中的光场,进而再现波前以评估大气湍流的影响。
- 瞿勇张新宇桑红石谢长生季安张天序
- 关键词：衍射理论波前大气湍流
