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江西省教育厅科学技术研究项目(GJJ09188)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：李多生邹爱华周贤良左敦稳更多>>
相关机构：南昌航空大学南京航空航天大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金江西省教育厅科学技术研究项目更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 1篇稳定性
  • 1篇CVD

机构

  • 1篇南京航空航天...
  • 1篇南昌航空大学

作者

  • 1篇左敦稳
  • 1篇周贤良
  • 1篇邹爱华
  • 1篇李多生

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体稳定性对曲面金刚石膜生长的影响被引量：1
2010年
采用直流等离子体喷射化学气相沉积(DCPJCVD)制备曲面金刚石膜,等离子体稳定性对金刚石膜生长十分重要。研究表明,曲面金刚石膜长时间生长,阳极积聚石墨碳点,等离子体流动受阻失稳,金刚石膜含较多杂质。通过对阳极除碳处理,可维持稳定的等离子体、稳定的电子温度Te、均匀的活性原子及原子基团密度。制备的金刚石膜经SEM、Raman等表征,发现曲面金刚石膜致密、晶粒均匀,仅发现金刚石特征峰,制备的曲面金刚石膜质量较高。
李多生周贤良左敦稳邹爱华
关键词：CVD稳定性
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