河北省科技攻关计划(04213579)
- 作品数：6 被引量：13H指数：2
- 相关作者：刘保亭赵庆勋闫正程春生李锋更多>>
- 相关机构：河北大学华北电力大学河北农业大学更多>>
- 发文基金：河北省自然科学基金河北省科技攻关计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- 含NiTi阻挡层的硅基(La_(0.5)Sr_(0.5))CoO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/(La_(0.5)Sr_(0.5))CoO_3铁电电容器异质结被引量：1
- 2007年
- 应用磁控溅射法制备的非晶NiTi薄膜作阻挡层,在Si(100)衬底上构造了(La0.5Sr0.5)CoO3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/(La0.5Sr0.5)CoO3(LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结,研究了Pb(Zr0.4Ti0.6)O3铁电薄膜的结构和物理性能。实验发现LSCO/PZT/LSCO铁电电容器具有良好的电学性能,在417kV/cm的驱动场强下,PZT铁电电容器具有较低的矫顽场强(125kV/cm)和较高的剩余极化强度(19.0μC/cm2),良好电容-电压特性(C-V)和保持特性,铁电电容器经过1010次反转后,极化强度没有明显下降,表明了非晶NiTi薄膜可以用作高密度硅基铁电存储器的扩散阻挡层。
- 刘保亭闫小兵程春生李锋马良赵庆勋闫正
- 关键词：NITI阻挡层
- 硅基外延La-Sr-Co-O/Pb-Zr-Ti-O/La-Sr-Co-O异质结的制备
- 2006年
- 在外延SrTiO3(STO)作为缓冲层的Si基片上,应用溶胶-凝胶法(sol-gel)和磁控溅射法,在550℃温度下制备了外延的La0.5Sr0.5CoO3/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3/La0.5Sr0.5CoO3(LSCO/PZT/LSCO)异质结。X射线衍射结果表明,LSCO/PZT/LSCO异质结是c向外延生长的。当外加电压为60 V时,LSCO/PZT/LSCO铁电电容器的剩余极化强度为50.3μC/cm2,当电压为30 V时,铁电电容器有效极化强度为80μC/cm2。其它电学性能表明,PZT铁电电容器具有较高的电阻率和脉冲宽度对极化强度的影响较弱。
- 刘保亭李锋闫正赵庆勋张未涛程春生乔晓东孙宏丽
- 关键词：溶胶-凝胶法异质结
- 用于薄膜外延生长的单晶基片RHEED研究被引量：1
- 2006年
- 利用反射式高能电子衍射仪(RHEED)对微电子技术常用的Si,SrTiO3单晶基片进行了表面结构分析.研究了硅基片的不同清洗工艺对衍射图样的影响,发现衬底的处理工艺非常重要.借助于反射式高能电子的衍射图样和理论分析,计算出与理论值相近的SrTiO3基片晶格常数.结果表明,高能电子衍射仪可以被用于计算生长在基片上的外延薄膜面内晶格常数.
- 武德起乔晓东李锋闫正赵庆勋王英龙刘保亭
- 关键词：RHEED衍射图样
- 铁电厚膜溶胶-凝胶法的制备与探讨被引量：3
- 2006年
- 随着微电子机械系统和集成光学等应用的发展,铁电厚膜及其溶胶凝胶法的制备越来越受到人们的关注.结合研究组的科研工作,介绍了铁电厚膜溶胶凝胶法的制备过程以及采取的一些措施,并对铁电厚膜研究中的一些主要相关问题进行了讨论.
- 程春生张子生阎正赵庆勋刘世普刘丽华刘保亭
- 关键词：溶胶-凝胶法微电子机械系统
- 全钙钛矿La0.5Sr0.5CoO3/PbZr0.53Ti0.47O3/La0.5Sr0.5CoO3异质结的结构与性能
- 2008年
- 应用射频磁控溅射法在SrTiO3(STO)基片上制备了全钙钛矿结构La0.5Sr0.5CoO3/PbZr0.53Ti0.47O3/La0.5Sr0.5CoO3(LSCO/PZT/LSCO)电容器异质结,并进行了结构和性能的表征.X射线衍射(XRD)的研究表明,LSCO/PZT/LSCO异质结在SrTiO3(STO)基片上为外延生长.对该电容器铁电性能的研究发现,在5 V驱动电压下,电滞回线饱和趋势良好,矫顽场电压为1.8 V和剩余极化强度为21.5×10-6C/cm2,漏电流为8.9×10-8A/cm2.实验还证实该电容器具有良好的脉冲宽度依赖性及抗疲劳特性.
- 郭建新刘保亭魏丽静张新闫小兵赵庆勋
- 关键词：钙钛矿结构PZT异质结铁电薄膜
- 铁电薄膜及铁电存储器研究被引量：9
- 2005年
- 综述了铁电薄膜以及铁电存储器的发展,讨论了铁电薄膜制备方法、结构和物理性能表征,并结合作者的前期工作,详细讨论了用于铁电薄膜与硅衬底集成的导电阻挡层问题,指出了铁电薄膜研究中需重点解决的一些问题.
- 武德起刘保亭闫正闫常瑜赵庆勋
- 关键词：铁电薄膜铁电存储器
