国家高技术研究发展计划(2001AA311110) 作品数:6 被引量:16 H指数:3 相关作者: 郑有炓 张荣 顾书林 修向前 毕朝霞 更多>> 相关机构: 南京大学 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 国家高技术研究发展计划 国家重点基础研究发展计划 更多>> 相关领域: 电子电信 更多>>
额外HCl和氮化对HVPE GaN生长的影响 被引量:6 2003年 在氢化物气相外延 (HVPE)生长 Ga N过程中 ,发现了一种在成核阶段向生长区添加额外 HCl来改善 Ga N外延薄膜质量的方法 ,并且讨论了额外 HCl和氮化对 Ga N形貌和质量的影响 .两种方法都可以大幅度地改善 Ga N的晶体质量和性质 ,但机理不同 .氮化是通过在衬底表面形成 Al N小岛 ,促进了衬底表面的成核和薄膜的融合 ;而添加额外 修向前 张荣 李杰 卢佃清 毕朝霞 叶宇达 俞慧强 郑有炓关键词:GAN 氮化 Mn^+离子注入的GaN薄膜的光学性质及其磁性 被引量:2 2003年 利用离子注入法将磁性离子 Mn+注入到采用金属有机化学气相沉积法制备的 Ga N薄膜中 ,获得了稀磁半导体 (Ga,Mn) N.光致发光谱结果显示由于 Mn的注入 ,使 Ga N中常见的黄带发射被大大抑制 .在反射和吸收光谱中 ,观察到锰引入的新吸收带 ,分析表明该带是由电荷转移过程和锰引入能级 (价带顶上 310 m e V处 )的吸收组成的 .透射光谱显示 (Ga,Mn) N的光学带隙发生了红移 ,计算表明该红移量为 30± 5 m e V.震动样品磁强计的测量结果证实了 Mn掺杂的 Ga N样品在室温下具有铁磁性 . 李杰 张荣 修向前 卢佃清 俞慧强 顾书林 沈波 郑有炓关键词:稀磁半导体 GAN薄膜 光学性质 光致发光谱 In_2O_3纳米线制备及其特性 被引量:5 2006年 使用管式加热炉成功地制备出In_2O_3纳米线.通过扫描电子显微镜可以看到样品为In_2O_3纳米线;X射线衍射分析证实该材料是立方结构的In_2O_3;X射线光电子谱分析发现该In_2O_3中存在大量氧缺陷;光致发光谱研究显示制得的In_2O_3纳米线有比较强的发光现象,主要集中在紫外光谱区.同时对反应的气相-固相(V-S)生长机理和In_2O_3的光致发光机理进行了详细分析. 谢自力 张荣 高超 刘斌 李亮 修向前 朱顺明 顾书林 韩平 江若琏 施毅 郑有炓关键词:IN2O3 纳米线 X射线衍射 扫描电子显微镜 InN薄膜的退火特性 被引量:3 2006年 对InN薄膜在氨气氛下的高温退火行为进行了研究.利用XRD,SEM和XPS对样品进行了分析.结果表明,InN薄膜的结晶质量和表面形貌并不随退火温度单调变化.由于高温退火时N原子的挥发,剩下的In原子在样品表面聚集形成In颗粒.当退火温度高于425℃时,In原子的脱吸附作用增加,从而导致样品表面的In颗粒在退火温度高于425℃时逐渐减少.XRD和SEM结果表明In颗粒密度最高的样品具有最差的结晶质量.这种现象可能是由于In颗粒隔离了其下面的InN与退火气氛的接触,同时,金属In和InN结构上的差异也可能在InN中导致了高密度的结构缺陷,从而降低了InN薄膜的结晶质量. 谢自力 张荣 修向前 毕朝霞 刘斌 濮林 陈敦军 韩平 顾书林 江若琏 朱顺明 赵红 施毅 郑有炓关键词:INN 热退火 扫描电子显微镜 X射线光电子谱 III族氮化物基的肖特基势垒二极管的研制 2003年 研制了三类不同金属和III族氮化物接触的肖特基势垒二极管。测量了器件的电流 电压特性 。 俞慧强 张荣 周玉刚 沈波 顾书林 施毅 郑有炓关键词:III族氮化物 肖特基势垒二极管 半导体材料 氮化铝 势垒高度 ZnAl_2O_4/α-Al_2O_3复合衬底的制备和GaN薄膜的生长 2002年 利用脉冲激光淀积法(PLD)在α-Al2O3衬底上淀积了ZnO薄膜,通过ZnO和α-Al2O3固相反应制备了具有ZnAl2O4覆盖层的α-A2O3衬底.X射线衍射谱(XRD)表明ZnAl2O4薄膜随反应时间由单一(111)取向转变为多晶取向,然后变为不完全的 (111)择优取向.同时扫描电子显微镜(SEM)照片表明ZnAl2O4表面形貌随反应时间由均匀的岛状结构先变为棒状结构,然后再变为突起的线状结构.另外,XRD谱显示低温制备的ZnAl2O4在高温下不稳定.在ZnAl2O4覆盖的α-Al2O3衬底上利用光加热低压MOCVD法直接生长了GaN薄膜.XRD测量表明随ZnAl2O4厚度增加GaN由c轴单晶变为多晶,单晶GaN的摇摆曲线半高宽为0.4°.结果表明薄ZnAl2O4覆盖层的岛状结构有利于GaN生长初期的成核,从而提高了GaN的晶体质量. 毕朝霞 张荣 李卫平 王栩生 顾书林 沈波 施毅 刘治国 郑有炓关键词:GAN薄膜 MOCVD X射线衍射谱 半导体材料