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天津市高等学校科技发展基金计划项目(20030521)
作品数:
2
被引量:5
H指数:2
相关作者:
陈希明
于春花
李化鹏
徐晟
杨保和
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相关机构:
天津理工大学
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发文基金:
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相关领域:
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天津理工大学
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陈希明
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于春花
传媒
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天津理工大学...
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2007
1篇
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金刚石声表面波器件的研制
被引量:2
2006年
对ZnO/IDT/金刚石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计、样件制备和测量.利用热丝化学气相沉积方法,在抛光S i基底沉积致密、光滑的CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备C轴取向的氧化锌压电薄膜.研制的ZnO/IDT/金刚石/硅结构SAW滤波器,叉指换能器(IDT)指宽1.7μm,SAW滤波器频率达到1.4 GHz.
徐晟
陈希明
杨晓苹
杨保和
关键词:
声表面波
多层膜结构
金刚石薄膜
射频功率对射频磁控反应溅射制备AlN薄膜的影响
被引量:3
2007年
采用射频磁控溅射法在Si(100)衬底上制备了AlN薄膜,通过控制工艺参数可以沉积出不同择优取向的AlN薄膜,各工艺参数中射频功率对其择优取向的影响最大.XRD表征了AlN薄膜的结构,进而选择出最优射频功率.
于春花
陈希明
李化鹏
关键词:
ALN薄膜
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