国家自然科学基金(11105230)
- 作品数：10 被引量：17H指数：3
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- 高电荷态实验技术新进展
- ＜正＞单粒子效应实验中需要离子具有尽可能高的能量,以获得足够的射程从而穿过器件表面多层金属布线和器件敏感区,选择高电荷态离子是提高串列加速器离子能量的有效途径之一。离子的电荷态大于最可几电荷态时,离子的电荷态越高,剥离几...
- 史淑廷王贵良刘建成郭刚
- 文献传递
- 半导体器件内离子有效LET值测量方法研究
- 2018年
- 提出了一种基于电荷收集测试技术的离子有效LET值测量方法.首先对半导体器件内收集电荷量与入射离子有效LET值之间的关系进行了分析,根据二者之间的关系提出通过测量电荷收集量从而测量离子有效LET值的方法;然后建立了半导体器件电荷收集测试系统,利用PN结和SRAM对测量方法进行了验证;最后成功利用该方法解释了以往单粒子效应实验中出现的数据异常.
- 史淑廷郭刚刘建成蔡莉陈泉沈东军惠宁张艳文覃英参韩金华陈启明张付强殷倩肖舒颜
- 关键词：单粒子效应电荷收集SRAM
- 单粒子翻转二维成像技术被引量：5
- 2012年
- 为了给星用半导体器件不同区域的单粒子翻转(SEU)机理研究提供一种高效、可靠手段,基于北京HI-13串列加速器,从重离子微束辐照技术和存储器单粒子效应检测技术这2方面,对微电子器件SEU二维成像测试技术进行了研究,建立了基于虚拟技术的测试系统。利用该成像技术,对国产2 kbit静态随机存储器(SRAM)的SEU敏感区域进行了实验研究,结果与理论结果及以往手动测试实验结果一致。
- 史淑廷郭刚王鼎刘建成惠宁沈东军高丽娟苏秀娣陆虹
- 离子径迹结构对SRAM单粒子翻转截面的影响被引量：2
- 2014年
- 本文基于北京HI-13串列加速器的单粒子效应测试终端对0.15μm工艺的SRAM进行了单粒子效应测试,再次验证了在截面曲线接近饱和区部分,高能离子翻转截面低于低能离子翻转截面的现象。采用Geant4对其进行模拟研究,结果表明,相同LET条件下高能离子可在较远处沉积能量,更易使同一存储单元内相邻的节点共享电荷发生单粒子翻转恢复而减小其单粒子翻转截面,而低能离子进行单粒子效应测试的结果相对保守。
- 高丽娟郭刚蔡莉何安林
- 关键词：单粒子翻转离子径迹电荷收集扩散电荷共享
- 高电荷态重离子束流产生技术的研究被引量：3
- 2014年
- 为了提高北京HI-13串列加速器束流的硅中射程和LET值,本文开展了高电荷态束流引出技术及pA级弱束流诊断技术研究。采用电刚度和磁刚度模拟技术,配合pA级弱束流束斑观测和束流强度监测技术,获得能量360MeV、峰总比80%的197 Au离子束流,其在Si中的表面LET为86.1MeV·cm2·mg-1、射程为30.1μm,满足单粒子效应(SEE)实验的要求,拓展了北京HI-13串列加速器上单粒子效应实验所用离子的能量和LET值范围。
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- 关键词：高电荷态单粒子效应
- 现代纳米集成电路质子单粒子效应研究进展被引量：1
- 2015年
- 近年来,随着半导体工艺技术的迅速发展,质子单粒子效应研究的重要性上升到了一个新的高度。综述了国际上纳米集成电路质子单粒子效应研究的主要进展,如低能质子成为纳米集成电路单粒子效应和软错误率的主要贡献因素,中高能质子与新型器件材料(如钨)核反应研究成为质子单粒子效应新的热点问题,介绍了中国原子能科学研究院在纳米集成电路低能质子实验方面开展的相关工作。
- 何安林郭刚沈东军刘建成史淑廷范辉宋雷
- 关键词：质子单粒子效应核反应
- 65nm工艺SRAM低能质子单粒子翻转实验研究被引量：5
- 2014年
- 基于北京HI-13串列加速器质子源及技术改进工作,获得2~15 MeV低能质子束流。针对商业级65nm工艺4M×18bit大容量随机静态存储器（SRAM）,开展了质子单粒子翻转实验研究。实验结果表明,低能质子通过直接电离机制可在存储器中引起显著的单粒子翻转,其翻转截面较核反应机制引起的翻转截面大2~3个数量级。结合实验数据分析了质子翻转机制、LET值及射程、临界电荷及空间软错误率等,分析结果表明,实验器件翻转临界电荷约为0.97fC,而低能质子超过高能质子成为质子软错误率的主要贡献因素。
- 何安林郭刚陈力沈东军任义刘建成张志超蔡莉史淑廷王惠范辉高丽娟孔福全
- 关键词：质子单粒子翻转
- MLFC在质子单粒子效应实验束流诊断中的应用被引量：2
- 2016年
- 对宇航微电子器件进行抗质子辐射性能评估时,常利用加速器产生的质子束流来测量其质子单粒子效应截面曲线(σ-E曲线)。基于北京HI-13串列加速器重离子辐照装置,研制了适用于质子能量测量的多叶法拉第筒(MLFC),为今后开展质子单粒子效应辐照实验奠定基础。测试结果表明,研制的MLFC既可测量质子能量和束流强度,也能测量质子束流的能量纯度,这对判定束流是否符合实验要求及调束非常实用。
- 宋雷郭刚刘建成沈东军范辉何安林史淑廷
- 关键词：束流诊断
- HI-13串列加速器单粒子效应试验终端接地改造
- ＜正＞加速器重离子辐照装置是开展微电子器件单粒子效应机理研究的有效工具。某些单粒子实验如单粒子瞬态脉冲测试实验,囚信号仅毫伏量级,因此需阻抗小、噪声干扰小的接地,以减小外部干扰噪声的影响,从而获得较好的信噪比。目前HI-...
- 史淑廷刘建成沈东军郭刚王惠
- 文献传递
