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浙江省教育厅科研计划项目(20040387)

作品数：2 被引量：2H指数：1
相关作者：王勇汪新颜姚奎鸿金达莱马照军更多>>
相关机构：浙江理工大学更多>>
发文基金：浙江省教育厅科研计划博士科研启动基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇一般工业技术

主题

  • 2篇硅烷
  • 2篇CVD
  • 1篇氮化
  • 1篇氮化硅
  • 1篇热力学
  • 1篇流态床
  • 1篇硅粉
  • 1篇法制
  • 1篇CVD法

机构

  • 2篇浙江理工大学

作者

  • 2篇姚奎鸿
  • 2篇汪新颜
  • 2篇王勇
  • 1篇周俊
  • 1篇马照军
  • 1篇金达莱

传媒

  • 2篇浙江理工大学...

年份

  • 2篇2007
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
硅烷流量对硅烷热CVD法制备纳米硅粉的影响被引量：1
2007年
纳米硅粉的制备方法很多,但采用硅烷(SiH4)热CVD法制备纳米硅粉较于其它方法有很多优势。文章研究了在特定的温度和压力下硅烷流量对硅粉制备的影响,并对制得的硅粉进行XRD、SEM和粒径分析表征,从而获得硅烷热CVD法制备硅粉一些关于硅烷流量等关键控制参数,为该法多参数优化控制以及将来的大规模工业应用做准备。
汪新颜金达莱马照军王勇姚奎鸿
关键词：硅烷硅粉
流态床CVD法制氮化硅超微粉过程分析及实验验证被引量：1
2007年
分析了硅烷氨解法制备氮化硅超微粉的化学气相沉积(CVD)过程,讨论了制备氮化硅超微粉体的3个关键工艺要素,并采用立式双温区流态床实验装置实现氮化硅超微粉体的制备,获得粉体合成过程的一些关键控制参数。
王勇周俊汪新颜姚奎鸿
关键词：流态床CVD氮化硅硅烷热力学
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