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国家自然科学基金(5087200150642038)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：宋学萍曹铃孙兆奇陈进军更多>>
相关机构：安徽大学贵州大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金安徽省人才开发基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇导电薄膜
  • 1篇电阻率
  • 1篇氧化锌
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇透明导电
  • 1篇透明导电薄膜
  • 1篇微结构
  • 1篇溅射
  • 1篇钽
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇贵州大学
  • 1篇安徽大学

作者

  • 1篇陈进军
  • 1篇孙兆奇
  • 1篇曹铃
  • 1篇宋学萍

传媒

  • 1篇安徽大学学报...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
钽掺杂对氧化锌透明导电薄膜结构和电学特性的影响被引量：3
2010年
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上室温沉积不同钽掺杂浓度的氧化锌透明导电薄膜.并对其结构和电学特性进行分析.对衍射峰的分析说明Ta元素以替位Zn元素的形式溶入ZnO晶格中形成了固溶体.当钽掺杂比例从0 wt%增加到10 wt%,晶格常数从0.5242 nm增加到0.5314 nm,表明薄膜中存在平行于c轴方向的张应力.薄膜沿c轴的晶粒尺寸在9.4-13.5 nm之间.薄膜的电阻随着掺杂比例增加首先显著下降,当掺杂比例为5 wt%时,薄膜最小电阻率为7.81×10^-2Ω.cm,进一步增加掺杂比例到10 wt%,电阻率增大为1.25×10^-1Ω.cm.
陈进军曹铃宋学萍孙兆奇
关键词：射频磁控溅射微结构电阻率
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共1页<1>
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