国家自然科学基金(29631020)
- 作品数：3 被引量：12H指数：2
- 相关作者：孟广耀彭定坤夏长荣郭晓霞潘铭更多>>
- 相关机构：中国科学技术大学辛辛那提大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术化学工程金属学及工艺更多>>
- 化学气相淀积技术和无机膜被引量：1
- 1999年
- 综述了化学气相淀积技术在无机分离膜领域中的应用和发展近况。报道了作者所在实验室近几年来的研究进展,并从无机分离膜的超薄化、实用化出发,列举了该领域有待进行的科学和技术基础研究课题。
- 孟广耀彭定坤
- 关键词：无机膜致密膜化学气相沉积CVD分离膜
- 多孔Al_2O_3陶瓷膜的修饰及其蒸汽分离性能的研究被引量：5
- 2000年
- 采用原子层控制生长化学气相淀积方法对多孔γ -Al2 O3陶瓷膜进行缩孔修饰研究 .多孔陶瓷膜表层孔中淀积的Al2 O3大大减小了薄膜的孔径 .用缩孔修饰后的γ -Al2 O3陶瓷膜进行水蒸气分离实验 ,获得极好的分效果 ,相对湿度为 12 %时 ,水蒸气与氧气的分离系数达到 71.
- 潘铭孟广耀Y.S.Lin
- 关键词：多孔陶瓷膜氧化铝陶瓷
- Pd-Y合金膜的MOCVD研制被引量：6
- 2000年
- 采用金属有机化合物的化学气相淀积法 ,以 β-二酮螯合物为源物质 ,在多孔 Al2 O3 衬底上成功制备了超薄钯钇合金膜 .用 Pd( Ac Ac) 2 +Y( Ac Ac) 3 混合源制备的钯钇合金膜的晶粒尺寸 ( 2 1nm× 10 nm )比单独用 Pd( Ac Ac) 2 制备的钯膜的尺寸 ( 3 0 nm× 10 nm )小 . XPS研究发现 ,制备的 Pd-Y合金膜中 Y/Pd比小于源物质的 .氢的透气性实验表明 ,合金膜的氢渗透率高于 Pd膜 ,且在 2 0 0～ 3 5 0℃范围内渗透率稳定 .
- 夏长荣郭晓霞汪学军陈初生彭定坤孟广耀
- 关键词：化学气相淀积
