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中国人民解放军总装备部预研基金(41318621)

作品数:1 被引量:2H指数:1
相关作者:邱家稳崔敬忠许旻王洁冰何延春更多>>
相关机构:中国科学院兰州物理研究所更多>>
发文基金:中国人民解放军总装备部预研基金国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域:理学更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 2篇微结构
  • 2篇相变特性
  • 2篇光学
  • 2篇光学特性
  • 2篇和光
  • 2篇二氧化钒
  • 2篇薄膜微结构
  • 2篇VO2

机构

  • 1篇中国科学院兰...

作者

  • 1篇何延春
  • 1篇王洁冰
  • 1篇许旻
  • 1篇崔敬忠
  • 1篇邱家稳

传媒

  • 1篇功能材料

年份

  • 2篇2007
1 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
二氧化钒薄膜微结构和光学相变特性被引量:2
2007年
二氧化钒薄膜是最有前途应用到非制冷红外微测热辐射计的材料,它的特性与制备方法、化学计量比、结构和取向等有直接关系,仔细控制工艺参数是制备应用的VO2薄膜关键。研究中采用脉冲磁控反应溅射方法,通过精确地控制功率、氧分压、基底温度等关键工艺参数,在石英玻璃和硅片上制备VO2薄膜。利用X射线衍射和x射线光电子谱,分析了薄膜的成分、相结构、结晶和价态情况,用原子力显微镜表征了薄膜的微观结构,在光谱仪对VO2薄膜的高低温光学特性原位测量。结果表明,得到的VO2薄膜纯度高、相结构单一、结晶度、多晶生长。在波数2000cm^-1高低温透射变化达到51%。
许旻邱家稳崔敬忠王洁冰何延春
关键词:VO2微结构光学特性
二氧化钒薄膜微结构和光学相变特性
二氧化钒薄膜是最有前途应用到非制冷红外微测热辐射计的材料.它的特性与制备方法、化学计量比、结构和取向等有直接关系,仔细控制工艺参数是制备应用的 VO薄膜关键.研究中采用脉冲磁控反应溅射方法,通过精确地控制功率、氧分压、基...
许旻邱家稳崔敬忠王洁冰何延春
关键词:VO2微结构光学特性
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