国家高技术研究发展计划(2006AA804206)
- 作品数：2 被引量：14H指数：1
- 相关作者：郭江郭隐彪王振忠柯晓龙朱永炉更多>>
- 相关机构：厦门大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划福建省科技重大专项更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程更多>>
- 非球面在线检测的系统误差分离与修正被引量：1
- 2010年
- 为了解决非球面在线检测的系统误差问题,针对系统误差产生的机理、误差的数学模型、分离方法以及补偿方法进行了研究.提出一种将空间误差投影到不同平面上进行分析从而解决测量系统误差的新方法并建立了各系统误差的数学模型.根据最小二乘法的基本思想,建立了基于标准球面的系统误差分离数学模型,得到了各参数的最小二乘估计值,并利用误差修正模型进行了校正.利用标准球面进行测量实验,验证了该方法的有效性和精确性.实验结果表明所提出的解决测量系统误差的思路可行,最终可使测量系统精度达到1μm数量级,从而满足精磨阶段在线检测的需要.
- 郭隐彪郭江柯晓龙朱永炉
- 关键词：非球面在线检测
- 非球面检测路径与高精度曲线拟合算法研究被引量：13
- 2008年
- 为适应轴对称非球面光学元件面形检测的要求,建立了三种不同的检测路径,并对三种路径进行了评价和对比,阐明其优缺点及适用情况,进而建立了一种高精度数据处理系统。采用Gauss-Newton算法进行非线性最小二乘曲线拟合,分别以单调型和超二次型非球面方程为数学模型验证了该曲线拟合算法的精确性。试验结果表明:该算法的拟合误差在1nm数量级,可用于完成高精度的数据曲线拟合。
- 郭隐彪郭江王振忠
- 关键词：非球面数据处理最小二乘法
