上海市教育发展基金(12CG54)
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
- 相关作者：朱亦鸣彭滟陈向前罗坤方丹更多>>
- 相关机构：上海理工大学中国科学院上海应用物理研究所更多>>
- 发文基金：上海市教育发展基金上海市科学技术委员会基础研究重点项目上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 飞秒激光参数对硅表面微结构影响的研究被引量：2
- 2016年
- 为了制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的黑硅材料,在SF6气体氛围中,用一定能量密度的飞秒脉冲激光照射单晶硅片表面。针对激光通量和激光峰值功率这两个参量分别进行实验,具体分析了15fs和130fs脉冲宽度的飞秒激光脉冲作用下硅表面微结构的形成,不同实验条件下制备出的硅微纳结构也有明显的差异。研究表明,在同一背景气体下,激光的峰值功率对硅表面微结构的形成起着决定性的作用。
- 罗坤陈向前彭滟朱亦鸣
- 关键词：脉冲宽度
- 甲醇气体的太赫兹时域波谱研究
- 2016年
- 为了探究甲醇气体在太赫兹波段的共振特性,利用太赫兹时域光谱对甲醇气体进行了测量,得到了其时域波形,观测到了自由感应衰变这一现象。根据朗博-比尔定律对气体吸收谱的计算得到转动谱线间隔,并对自由感应衰变这一现象进行了深入的解释,这些结果对于太赫兹波段的气体检测、分析和识别具有参考价值。
- 霄炜赵红卫朱亦鸣
- 关键词：太赫兹时域光谱甲醇
- 新型微纳结构硅宽谱高效吸收效率的量化分析被引量：1
- 2015年
- 飞秒激光制备的微纳结构硅材料由于其在可见光和近红外波段都有很高的吸收而在硅基光电、光电探测器以及超疏水设备等方面都具有重要应用。然而,其高宽谱高效吸收特性的机理从没有被准确量化,这在很大程度上限制了这类材料的进一步发展与应用。通过实验,量化了飞秒激光制备的微纳结构硅的不同吸收影响因素,包括硅衬底的掺杂以及在激光制备过程中使用掺杂剂在材料中引入的杂质,激光制备过程中形成的增强光吸收的无序的表面微纳结构等因素。通过这些分析,确定了硅衬底的掺杂比激光制备过程中引入的硫杂质的掺杂对于红外波段的吸收有更大的贡献,此外,该种以硅衬底的掺杂为主要红外吸收介质的材料具有耐退火性。这些结果对设计和制造高效率的光电器件有着重要影响。
- 彭滟陈向前朱亦鸣
- 关键词：硅
- 真空环境下飞秒激光制备的微构造硅的吸收和退火特性被引量：1
- 2014年
- 在真空环境下利用飞秒激光制备的“黑硅”材料，其形貌与SF6气氛中制备的“黑硅”材料有着很大的区别。为了研究这种真空环境下制备的微构造硅的相关光学特性，通过改变入射脉冲能量研究其峰值变化以及吸收特性，发现当峰值达到一定高度时其对200~2500 nm波段的光波有95%左右的吸收效率，这与SF6气氛中制备的微构造硅的吸收效率不相上下。最后对两种环境下制备的“黑硅”样品进行退火处理，发现真空环境下制备的“黑硅”材料比SF6气氛中制备的“黑硅”样品具有更好的耐退火性。这些结果对于利用真空环境下制备的微构造硅制作红外传感器具有重要意义。
- 陈向前彭滟方丹周云燕刘姝祺蔡斌朱亦鸣
- 关键词：微构造退火红外传感器
