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河北省自然科学基金(500016)

作品数:9 被引量:17H指数:2
相关作者:张维连孙军生牛新环张恩怀吕海涛更多>>
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发文基金:河北省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 9篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 8篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 5篇晶体
  • 5篇CZSI
  • 5篇掺锗
  • 4篇单晶
  • 4篇直拉法
  • 3篇晶体生长
  • 3篇
  • 2篇禁带
  • 2篇禁带宽度
  • 1篇单晶硅
  • 1篇单晶体
  • 1篇氧沉淀
  • 1篇永磁
  • 1篇永磁场
  • 1篇原生
  • 1篇杂质对
  • 1篇直拉单晶硅
  • 1篇体缺陷
  • 1篇退火
  • 1篇热电性能

机构

  • 8篇河北工业大学

作者

  • 8篇张维连
  • 5篇牛新环
  • 4篇蒋中伟
  • 4篇吕海涛
  • 4篇孙军生
  • 3篇张恩怀
  • 2篇王雅欣
  • 2篇李嘉席
  • 2篇赵红生
  • 2篇陈洪建
  • 1篇张书玉
  • 1篇檀柏梅
  • 1篇张建新

传媒

  • 2篇河北工业大学...
  • 1篇Journa...
  • 1篇功能材料
  • 1篇人工晶体学报
  • 1篇功能材料与器...
  • 1篇固体电子学研...
  • 1篇Chines...
  • 1篇Rare M...

年份

  • 1篇2007
  • 1篇2005
  • 5篇2004
  • 1篇2003
  • 1篇2002
  • 1篇2001
9 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
掺锗CZ硅单晶中锗分布形式的研究被引量:2
2004年
利用扫描电镜能谱分析法,对CZ法生长的掺锗浓度不同的硅锗单晶中锗浓度进行了测定,结果发现硅中锗的纵向分布是头部浓度较低,尾部锗浓度较高.根据测定的浓度计算出了该工艺条件下硅锗体单晶中锗的有效分凝系数为Ke ≈ 0.60~0.65.
牛新环张维连吕海涛蒋中伟
关键词:直拉法分凝系数
Thermoelectric Properties of Czochralski GeSi Crystal
2007年
In order to discuss the application possibility of SiGe crystal in thermoelectric materials,we investigated the thermoelectric properties of several silicon-germanium alloys with different content,orientation and electric conductive type. As discussed in the experiment result,the absolute value of Seebeck coefficient fluctuates from 300 to 600 μV/K in the whole temperature range. In the present paper,the relationship of Seebeck coefficient against content,orientation and electric conductive type is summarized in detail. The Seebeck coefficient of the sample with <111> orientation is smaller than that in <100> at the same temperature. Absolute value of P-type is larger than that of N-type except pure Ge. But as the temperature increases,the absolute value of pure Ge decreases many times as quickly as that of other specimens. In addition,the specimens of bulk GeSi alloy crystals for experiment were grown by the Czochralski method through varying the pulling rate during the growing process.
索开南张维连林健赵嘉鹏周子鹏
关键词:热电性能硅锗合金单晶体
掺锗CZSi原生晶体中氧的微沉淀被引量:7
2002年
利用锗硅单晶 (锗浓度约为 10 19cm-3 )切制成的籽晶和一般无位错硅单晶生长的缩细颈工艺以及从晶体头部至尾部平稳降低拉速的工艺 ,生长了直径为 6 0、5 0和 40mm ,掺锗量为 0 1%和 0 5 % (锗硅重量比 )的锗硅单晶 .利用化学腐蚀 金相显微镜法、扫描电子显微镜 (SEM)能谱分析和X射线双晶衍射等方法观测了掺锗硅的原生晶体中缺陷及氧的沉淀的状况 .发现用CZ法生长的锗硅原生晶体与常规工艺生长的CZSi晶体不同 ,体内存在着较高密度的氧微沉淀 .在晶体尾部 ,由于锗的分凝使熔体中锗高度富集 ,出现了“组分过冷”现象 ,在晶粒间界应力较大处有锗的析出并出现了枝状结晶生长 .晶体中高密度氧的微沉淀经过 12 5 0℃热处理 1h后会溶解消失 .
张维连李嘉席陈洪建孙军生张建新张恩怀赵红生
关键词:氧沉淀晶体缺陷
锗杂质对直拉单晶硅热施主和机械强度的影响被引量:2
2001年
利用四探针测试和三点弯曲法研究了掺入等价元素Ge的CZSi 450℃退火时晶体电学参数稳定性和硅片机械强度.发现Ge能抑制CZSi中氧施主的形成,降低热施主的形成速率和最大浓度,改善硅材料的内在质量,提高硅片的机械强度,以杂质量级掺入到硅中的Ge对提高硅材料的综合性能是有益的.
张维连孙军生檀柏梅李嘉席
关键词:热退火机械强度直拉单晶硅
CZSiGe单晶的FTIR光谱研究
2005年
利用傅立叶红外光谱(FTIR)测试技术,研究了掺锗CZSi的低温和常温红外吸收光谱。发现高浓度Ge掺入CZSi在红外吸收光谱中引起的波数为1118cm-1、710cm-1和800cm-1的新红外吸收峰,这些峰的吸收强度随Ge含量的增加也逐渐增强;碳的红外吸收峰(607cm-1)则向低频方向移动。同时利用X射线单晶衍射技术(SCXRD)测定了SiGe(Ge:10wt%)单晶的晶格常数,结果表明晶格常数由Si单晶的0.54305nm变为0.5446nm。
蒋中伟张维连牛新环张书玉
关键词:红外光谱
Bulk single crystal growth of SiGe by PMCZ method被引量:5
2003年
A new type of magnetic device was used to replace the conventional electro-magnetic field for CZSi (doped with Ge) growth. The device was composed of three permanent magnetic rings and called PMCZ device. The lines of magnetic force are horizontally distributed at radial 360°. Using the ring permanent magnetic field, thermal convection in melt and centrifugal pumping flows due to crystal rotation could be strongly suppressed so that the fluctuations of temperature and micro-growth rate at solid/liquid interface could be restrained effectively. In the PMCZ condition, the growing environment of SiGe bulk single crystal was similar to the crystal growth in space under the condition of micro-gravity. The motion of impurities (Ge, oxygen, etc.) had been controlled by diffusion near the solid/liquid interface. Oxygen concentraion became lower and the distribution of composition became more homogeneous along longitudinal direction and across a radial section in the grown SiGe crystal. The mechanism of PMCZ superior to MCZ was also discussed.
ZHANG Weilian, NIU Xinhuan, CHEN Hongjian, ZHANG Jianxin, SUN Junsheng, and ZHANG EnhuaiSemiconductor Material Institute, Hebei University of Technology, Tian jin 300130, China
关键词:SIGE单晶晶体生长组成成分热对流
掺锗直拉硅体单晶的生长被引量:1
2004年
为了控制锗在硅中的分凝和分布的均匀性 ,抑制熔体中因重力场引起的无规律热对流和质量对流 ,文中设计制造了一种新型的环型永磁场直拉炉 ( PMCZ法 ) ,生长了掺锗量 0 .1~ 5 .0 % ( Ge∶Si重量比 )、 65 mm和 5 2 mm的硅锗体单晶 ,拉速一般控制在 0 .2~ 0 .5 mm/分。当磁场强度较高时 ,熔体中由于重力场引起的热对流和质量对流在一定程度上被抑制 ,类似于空间微重力环境生长晶体的条件 ,晶体中锗和氧杂质分布均匀性的问题得到了较好地控制。文中利用扫描电子显微镜 ( SEM)能谱分析和二次离子质谱 ( SIMS)等方法观测了PMCZ法生长的掺锗 Si单晶中锗的分布状况。发现用 PMCZ法生长的锗硅晶体比常规 CZ法生长的晶体杂质均匀性要好些。同时发现 ,由于晶体生长速率很低 ,使得掺锗硅中产生了大量的过饱和氧的微沉淀。这些微沉淀经过 1 2 5 0°C热处理后会溶解消失。在晶体尾部 ,由于锗在硅中的分凝系数小于 1 ,使得锗在熔体中高度富集 ,产生了“组份过冷现象”,出现了枝状结晶生长。
张维连赵红生陈洪建孙军生张恩怀
关键词:永磁场直拉法
掺锗CZSi禁带宽度的变化
采用近红外分光光度仪(UV/VIS)测试了直拉法生长的掺杂不同Ge浓度的硅单晶样品,得到了不同锗浓度下1000-2000nm波长范围内样品的透射率和反射率,利用相关公式计算出单晶的光学吸收系数,根据吸收系数与单晶禁带宽度...
牛新环张维连吕海涛蒋中伟王雅欣
关键词:直拉法晶体生长禁带宽度
文献传递
掺锗CZSi禁带宽度的变化被引量:1
2004年
采用近红外分光光度仪(UV/VIS)测试了直拉法生长的掺杂不同Ge浓度的硅单晶样品,得到了不同锗浓度下1000~2000nm波长范围内样品的透射率和反射率,利用相关公式计算出单晶的光学吸收系数,根据吸收系数与单晶禁带宽度的关系式作图,得到了不同锗浓度样品的禁带宽度值.结果发现,随锗浓度的提高,样品的禁带宽度逐渐减小.这结论与理论结果相吻合.
牛新环张维连吕海涛蒋中伟王雅欣
关键词:直拉法晶体生长禁带宽度
掺锗CZSi中与锗有关的红外光谱特性被引量:1
2004年
用FTIR法测试了CZ法生长的不同掺Ge浓度单晶的红外吸收光谱,结果发现掺锗浓度≤1%(重量比)低浓度情况下,红外谱图与不掺锗CZSi的红外谱图基本相同。但随着掺入晶体中锗浓度的增加,红外谱图在710cm-1处出现了一个新的吸收峰。锗浓度越高,此峰越明显。该峰可能是由于Ge-C或Si-Ce-C键合体系的产生而引起的红外吸收峰。
张维连牛新环吕海涛张恩怀孙军生
关键词:半导体材料
共1页<1>
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