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四川省教育厅青年基金(08ZB006)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：李国强杨宏道李晓红袁春华唐多昌更多>>
相关机构：西南科技大学更多>>
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相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇微结构
  • 1篇硅表面
  • 1篇ND:YAG
  • 1篇硅

机构

  • 1篇西南科技大学

作者

  • 1篇唐多昌
  • 1篇袁春华
  • 1篇李晓红
  • 1篇杨宏道
  • 1篇李国强

传媒

  • 1篇物理学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
Nd:YAG纳秒激光诱导硅表面微结构的演化被引量：5
2010年
利用Nd:YAG纳秒激光(波长为532和355nm)对单晶硅在真空中进行了累积脉冲辐照,研究了表面微结构的演化情况.在激光辐照的初始阶段,532和355nm激光脉冲均在硅表面诱导出了波纹结构,后者辐照硅表面后形成了近似同心但稍显混乱的环形波纹结构.随着脉冲数的增加,波纹结构逐渐演化为一种类似珠形的凹凸结构,最后形成准规则排列的微米量级锥形结构,该微结构的生长依赖于表面张力波和结构自组织.分析发现,形成的交叉环形结构主要是在355nm激光辐照硅的过程中,表面张力波导致波纹结构部分叠加的结果。
袁春华李晓红唐多昌杨宏道李国强
关键词：硅
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