国家自然科学基金(10704056)
- 作品数：3 被引量：11H指数：2
- 相关作者：王占山朱京涛陈锐王风丽黄秋实更多>>
- 相关机构：同济大学中国工程物理研究院上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室更多>>
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- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 亚飞秒啁啾Mo/Si多层膜反射镜的设计、制作与性能检测被引量：2
- 2009年
- 针对利用高次谐波获取亚飞秒脉冲的实验需求,设计制备了啁啾为-2 800 as2的啁啾Mo/Si多层膜反射镜.数值计算表明,采用所设计的啁啾多层膜反射镜可以获得86 as的脉冲.通过直流磁控溅射方法实现了Mo/Si多层膜样品的制备.在合肥同步辐射上进行了多层膜反射率的测量,在所设计的工作波长内,多层膜的平均反射率为5.6±2.3%.在考虑最上层Si的氧化作用后,对测量曲线进行拟合,得到的反射率曲线和膜层厚度分布分别与测试曲线和设计结果相吻合.
- 王风丽陈锐王占山徐敬朱京涛张众
- 关键词：高次谐波磁控溅射反射率
- 极紫外啁啾多层膜反射镜产生亚飞秒脉冲被引量：3
- 2008年
- 超短超强激光与稀有气体相互作用产生高次谐波获取亚飞秒脉冲是近年来超短超快光学的研究热点之一。具有谐波选择和啁啾补偿作用的极紫外啁啾多层膜反射镜是产生亚飞秒脉冲的有效元件。阐述了运用极紫外啁啾多层膜反射镜由高次谐波得到亚飞秒脉冲的机制,计算了特定实验条件下高次谐波产生过程中的啁啾,利用遗传算法完成了极紫外啁啾多层膜反射镜的设计,模拟分析了其产生亚飞秒脉冲的作用。结果表明,所设计极紫外啁啾多层膜反射镜能够获得半峰全宽为132 as的脉冲。
- 陈锐王风丽王占山
- 关键词：遗传算法
- 极紫外啁啾多层膜反射镜产生亚飞秒脉冲的研究
- 超短超强激光与稀有气体相互作用产生高次谐波获取亚飞秒脉冲是近年来超短超快光学的研究热点之一,具有谐波选择和啁啾补偿作用的极紫外啁啾多层膜反射镜是产生亚飞秒脉冲的有效元件。本文阐述了运用极紫外啁啾多层膜反射镜由高次谐波得到...
- 陈锐王风丽王占山
- 关键词：极紫外遗传算法
- 文献传递
- 磁控溅射制备的W,WSi_2,Si单层膜和W/Si,WSi_2/Si多层膜应力被引量：6
- 2011年
- 采用直流磁控溅射技术制备了厚度约100nm的W,WSi2,Si单层膜和周期约为20nm,Si膜层厚度与周期的比值为0.5的W/Si,WSi2/Si周期多层膜。利用台阶仪对镀膜前后基底表面的面形进行了测试,计算并比较了不同膜系的应力值。结果表明:W单层膜表现出较大的压应力,而W/Si周期膜则表现为张应力。WSi2单层膜和WSi2/Si周期多层膜均表现为压应力,没有应力突变,应力特性最为稳定。因此,WSi2/Si材料组合是研制大膜对数X射线多层膜较好的材料组合。
- 黄秋实李浩川朱京涛王晓强蒋励王占山唐永建
- 关键词：应力磁控溅射
