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河南省高等学校创新人才培养工程(114100510025)

作品数：1 被引量：13H指数：1
相关作者：李聪慧郑锦华晁云峰张冲更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇气相沉积
  • 1篇磨耗
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇类金刚石
  • 1篇类金刚石薄膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇CVD

机构

  • 1篇郑州大学

作者

  • 1篇张冲
  • 1篇晁云峰
  • 1篇郑锦华
  • 1篇李聪慧

传媒

  • 1篇光学精密工程

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
不同金属基材上类金刚石薄膜的摩擦特性被引量：13
2013年
针对类金刚石(DLC)薄膜在精密机械零件中的应用,研究了在常温条件下沉积高界面强度的DLC薄膜的技术,以提高DLC薄膜与金属基材之间的结合强度。通过在基材与薄膜之间沉积加入a-Si∶H中间过渡层,研究了在不同金属基材上DLC薄膜的结合强度。采用Ball-on-Disk方法评价了薄膜的摩擦特性并测定其摩擦系数、疲劳破坏寿命和磨耗。实验结果表明:在薄膜与金属基材之间加入a-Si∶H过渡层后,界面的结合(键合)强度得到了明显的改善,在金属基材上沉积的DLC薄膜在磨耗过程中被完全磨穿而没有发生剥离。实验显示,在自制的化学气相沉积RF-DCCVD装置上沉积的DLC薄膜的最大沉积厚度是3.3μm;在1μm厚度的薄膜上施加2.94N的负荷(点载荷),其疲劳破坏寿命达到了70万循环;DLC薄膜与SiC,Si3N4,SUS304和SUJ2材料之间的摩擦系数为0.1～0.15。得到的结果验证了薄膜与金属间的结合强度和摩擦特性能够满足精密机械零件的使用要求。
郑锦华李聪慧张冲晁云峰
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