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国家自然科学基金(6176036)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：章白瑜闫娜高建军更多>>
相关机构：华东师范大学复旦大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电气工程

主题

  • 1篇等效
  • 1篇等效电路
  • 1篇品质因数
  • 1篇微机
  • 1篇基于微机
  • 1篇硅基
  • 1篇MEMS
  • 1篇电技术

机构

  • 1篇复旦大学
  • 1篇华东师范大学

作者

  • 1篇高建军
  • 1篇闫娜
  • 1篇章白瑜

传媒

  • 1篇电子器件

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于微机电技术的硅基射频电感的设计与仿真被引量：1
2013年
基于微机电(MEMS)工艺技术的射频电感是一种体积小、功耗低和集成度高的新型电感,对于设计高品质因数的微波集成电路具有非常重要的作用。对先进的硅基微机电射频电感设计技术进行了介绍,给出了3种常用的等效电路模型;同时利用三维电磁仿真软件HFSS设计了平面结构和垂直结构的MEMS立体电感,详细地给出了这2种电感的物理结构参数以及在N型硅衬底上的实现方法及工艺流程。仿真结果表明,平面结构的电感品质因数在4.4 GHz处可以达到11.8,垂直结构的电感的品质因数在4.3GHz处可以达到19.5,远远高于传统电感的品质因数。
章白瑜高建军闫娜
关键词：MEMS品质因数等效电路
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共1页<1>
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