国家高技术研究发展计划(2005AA404240)
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 相关作者：苑伟政谢建兵常洪龙徐景辉阎子健更多>>
- 相关机构：西北工业大学更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 一种可支持任意流程的MEMS设计工具被引量：3
- 2006年
- 当前MEMSCAD软件中可以支持的设计流程比较固定和单一,已不能完全满足由MEMS器件种类日益增多所带来的设计新需求.论文提出了一种可支持任意流程的MEMS设计方法,并基于此建立了设计工具原型系统.该方法采用通用的系统级、器件级和工艺级的三级架构,但以网表、标准格式的实体模型和版图文件分别作为这三个级别设计数据的出入口.设计了相应的信息提取算法及程序,实现了任意两个级别之间的数据自动传递,从而可以支持在该架构下的全部六种设计流程.尤其是由系统级到器件三维实体再到工艺版图的设计流程为国际上率先实现,其从功能逐步综合到器件结构,可有效减少设计的迭代次数.设计实例表明,基于该工具可以针对不同的MEMS器件选择最优的设计路线,显著提高了MEMS的设计效率.
- 常洪龙谢建兵徐景辉阎子健苑伟政
- 关键词：设计自动化网表版图
- 一种Z轴微机械陀螺的自解耦方法研究被引量：2
- 2006年
- 在分析了微机械陀螺机械耦合误差产生原因的基础上,提出了一种解耦梁方案,可以从结构上消除振动式微机械陀螺敏感模态对驱动模态的耦合影响;基于该解耦梁方案设计了一种新型的Z轴微机械陀螺结构.分析表明,该陀螺结构消除了敏感模态对驱动模态的耦合影响,实现了解耦设计的目的.
- 谢建兵苑伟政常洪龙
- 关键词：微机械陀螺模态耦合
- 基于参数化组件的电容式微机械传声器系统级建模与仿真被引量：2
- 2007年
- 基于一维集中参数模型建立了微细加工电容式传声器振膜的动力学控制方程,并确定了方程中各参数的表达式。根据控制方程,在Saber平台上采用硬件描述语言开发了参数化组件。将该组件与传声器的检测电路模型结合起来实现了传声器的系统级建模,进行了时域、频域仿真,以及不同偏置电压下的输出电容、静电拉入电压的计算。将仿真结果与文献实测数据以及有限元分析结果相比较,验证了该组件的有效性。
- 安鹏苑伟政张承亮
- 关键词：MEMS电容式传声器
