国家自然科学基金(60604030)
- 作品数:6 被引量:39H指数:2
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- 相关机构:华中科技大学洛阳轴承研究所中国中煤国际工程集团武汉设计研究院更多>>
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- 混合产品批间控制的周期重置折扣因子的EWMA算法
- 半导体制造行业中基于线程的指数加权平均批间控制是一种重要的稳定控制方案,然而,当干扰服从IMA(1,1)序列且具有确定线性漂移并在线程有很长的下线时间时,这一过程的输出在每个周期的最初几个批次中将会出现很大偏差。本文分析...
- 郑英艾兵郑燕叶林
- 文献传递
- 一种基于聚类分析的三角网格强壮水印方法
- 2009年
- 针对计算机图形学中常用的三角网格模型,以聚类分析方法为基础建立了一种强壮的水印方案。首次将聚类分析常用的K-Means方法用于网格水印研究,并在完成球面三角化后通过调整表面片法矢嵌入水印;在分析方法特点基础上建立了高效的数值迭代过程,提高了水印方法的效率;通过实验结果验证了方法的有效性和鲁棒性。
- 王彦伟郑英
- 关键词:网格水印聚类分析网格重采样
- 混合产品的合成前馈/反馈批间控制方法被引量:1
- 2009年
- 针对循环生产的半导体双产品制造过程提出了一种新的控制方法.此方法采用前面批次的参数估计机台漂移,机台干扰由前馈和未来批次的反馈控制综合决定.得到了系统输出和其渐进期望方差误差,并证明了渐进期望方差误差与不同产品的间隔无关.仿真结果表明这种方法是有效的.
- 郑英艾兵张杰王彦伟
- 关键词:半导体生产控制策略前馈控制反馈控制
- 半导体混合产品批间控制的理论与实验研究
- 2008年
- 提出了用一种半导体工业用双产品模型来研究基于机台和基于产品的控制方法。在此基础上,得到了闭环系统的输出,评估了控制性能。由于NH3的挥发类似于半导体工业的机台漂移,因此对纳米级SiO2粒子进行了实验研究。在氨溶液挥发的影响下制造不同大小的SiO2粒子,以模拟在机台干扰下生产不同产品。实验研究证实了理论结果,即基于机台的方法有时不稳定,而基于产品的方法是稳定的。
- 郑英王彦吨
- 基于T-S模型的网络化控制系统的鲁棒容错控制被引量:20
- 2008年
- 提出了网络化控制系统的一种全新的建模方式——基于Takagi-Sugeno(T-S)模糊模型的网络化控制系统模型,即通过对具有马尔可夫特性的网络时延的分析,得到各时延值的发生概率即局部模型隶属度,从而建立T-S全局模糊模型.在此基础上建立不确定的网络化控制系统模型.考虑系统的不确定性,并针对传感器和执行器的失效问题,提出了保证系统鲁棒稳定的设计算法.利用李亚普诺夫函数,证明该算法能保障网络化控制系统的容错性和稳定性,仿真结果验证了其有效性.
- 郑英王彦伟方华京
- 关键词:网络化控制系统鲁棒容错控制
- 基于变折扣因子EWMA的混合产品批间控制方法被引量:2
- 2009年
- 批间(run-to-run,简称R2R)控制现今已被广泛用于半导体生产行业.指数加权移动平均(exponet weighted moving average,EWMA)是R2R控制的一种重要算法.折扣因子是EWMA控制期的主要参数.本文在模型中考虑了实际生产过程中混合产品少量多样的特点,引入了基于产品的变折扣因子EWMA控制算法,解决了产品切换时制程输出收敛速度过慢的问题.变折扣因子的引入提高了制程输出的响应速率而并不影响制程输出的稳定性.对实际过程的模拟仿真检验了该控制算法的可行性和优越性.
- 侯明阳郑英艾兵郑燕张杰
- 轮毂轴承接触受力的整体三维有限元分析被引量:16
- 2008年
- 轮毂轴承是汽车的关键零部件之一。首先提出了具有普遍性的建立轮毂轴承整体三维有限元接触分析模型的准则,而后以某载重汽车用轮毂轴承为例验证了建模准则的有效性。对该轮毂轴承的有限元计算结果进行了详细分析,建模规则和结果本身对于轮毂轴承的设计与生产具有重要参考价值。
- 王彦伟罗继伟李尚勇宋丽孙立明
- 关键词:轮毂轴承接触压力有限元法
- 混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究
- 批间(Run-to-Run,R2R)控制已广泛应用于半导体生产行业。指数加权移动平均(Exponent Weighted Moving Average,EWMA)反馈控制是R2R控制的一种重要算法。折扣因子(Discou...
- 郑英侯明阳
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