国家自然科学基金(10176040)
- 作品数：6 被引量：19H指数：2
- 相关作者：温志渝刘妤张流强梁玉前杨红韵更多>>
- 相关机构：重庆大学重庆工学院中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点实验室开放基金教育部科学技术研究重大项目更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 硅微电容式二维加速度传感器的加工与测试(英文)被引量：1
- 2012年
- 设计了一种基于体硅加工技术的单敏感质量元差分电容式二维加速度传感器,并采用硅-玻璃静电键合、ICP工艺释放等技术完成了二维加速度传感器的加工。测试结果表明:该二维加速度传感器两个检测方向上的灵敏度基本一致,线性度较好,交叉干扰较小。X、Y方向的灵敏度分别为58.3 mV/gn、55.6 mV/gn;线性相关系数分别为0.9968、0.9961,交叉灵敏度分别为6.17%、7.82%。
- 刘妤温志渝陈李杨红韵
- 关键词：MEMS加速度传感器体硅工艺
- 二维电容式硅微加速度传感器的刚度求解被引量：2
- 2003年
- 硅微电容式加速度传感器具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点 ,在军民两用市场中有着广泛的应用前景。本文针对自主开发设计的一种带折叠梁的二维叉指电容式硅微加速度传感器 ,采用力法求解了其主轴刚度 。
- 刘妤温志渝张流强梁玉前温中泉李霞
- 关键词：刚度
- 微加速度传感器的研究现状及发展趋势被引量：10
- 2004年
- 基于MEMS技术的微型传感器是微机电系统研究中最具活力与现实意义的领域.微加速度传感器作为微传感器的重要分支一直是热门的研究课题.本文基于对微加速度传感器研究现状的综述,探讨了微加速度传感器的发展趋势.
- 刘妤温志渝张流强刘玉奎梁玉前
- 关键词：微加速度传感器MEMS
- 多轴微加速度传感器的进展被引量：5
- 2007年
- 微加速度传感器是微型惯性组合测量系统的核心器件。随着MEMS技术的不断发展,单轴微加速度传感器的技术已日趋成熟,多轴微加速度传感器的研究正成为MEMS领域的热点。基于多轴微加速度传感器典型实例的介绍,评述了近年来该领域的进展,并就其未来的发展作了展望。
- 刘妤温志渝杨红韵
- 关键词：微机电系统微加速度传感器
- 微加速度传感器的结构刚度分析新法被引量：1
- 2006年
- 微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动态响应特性的一个重要参数．目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式．针对自主开发设计的一种具有复杂微结构的加速度传感器,提出综合运用力法和能量法原理求解其主轴刚度,并通过仿真分析验证了理论推导．理论计算与仿真分析的结果有较好的一致性．该方法可推广应用于具有对称、静不定微结构的加速度传感器的刚度分析．
- 刘妤温志渝杨红韵张流强
- 关键词：微加速度传感器微结构能量法
- MEMS微加速度传感器的系统级仿真
- 概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、实现关键及各自的优缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真。
- 刘妤温志渝张流强梁玉前
- 关键词：微加速度传感器系统级仿真宏模型
- 文献传递
- MEMS微加速度传感器的系统级仿真
- 2005年
- 概述了适用于MEMS系统仿真的几种方法,着重介绍了这些方法的基本思想、缺点,并初步实现了典型叉指电容式微加速度传感器的系统级仿真.
- 刘妤温志渝张流强梁玉前
- 关键词：MEMSCAD微加速度传感器系统级仿真宏模型
