国家高技术研究发展计划(2006AA04Z317)
- 作品数:5 被引量:27H指数:3
- 相关作者:马晓宇胡满红刘改红李勇李勇更多>>
- 相关机构:清华大学中国计量科学研究院中国科学院更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:金属学及工艺机械工程更多>>
- 综合改善微细电解加工精度的工艺研究被引量:3
- 2009年
- 电解加工的阳极电化学溶解原理使其在微细加工领域具有巨大的发展潜力,但杂散腐蚀和流场条件恶劣制约加工精度的提高。分析了影响微细电解加工的主要因素,提出综合改善微细电解加工精度的工艺途径。理论分析和实验研究均表明:将LIGA工艺制备高质量微细阵列电极、电极侧壁绝缘、高频脉冲电流及非线性电解液加工、电极间歇回退伺服控制等方法有机结合,能有效约束电场、改善流场,提高微细电解加工的精度。
- 马晓宇李勇胡满红刘改红
- 关键词:微细电解加工
- 微细电加工应用技术研究
- 为使微细电加工达到工业应用的目的,需要兼顾加工效率和加工精度两方面的要求。以微细孔、微细三维结构的加工为目标,进行了微细孔电火花加工、三维微细结构电火花伺服扫描加工以及微细电化学加工技术的研究开发。设计出微细电极的损耗补...
- 李勇
- 关键词:微细电火花加工微细电化学加工电极损耗伺服进给
- 文献传递
- 利用LIGA技术研制微细电火花异形和阵列结构电极被引量:1
- 2011年
- 利用LIGA技术的优势,针对电火花电极结构特点开发出相应的加工工艺,完成电火花复杂结构电极的制造。电火花电极的特点是大高宽比的金属柱状结构,这对于LIGA技术工艺具有特殊的难度,需要突破深孔显影和电铸工艺难题。通过大量的工艺试验,优化出电火花电极阵列结构的工艺路线,圆满完成阵列结构和异形复杂结构的电极制造,为电火花技术在新领域的应用提供了技术支持。
- 伊福廷李勇刘改红
- 关键词:LIGA技术
- 微细电解加工用电极的侧壁绝缘及应用实验被引量:11
- 2009年
- 介绍了一种微细电解加工用电极的侧壁绝缘方法及其应用实验。采用旋涂法在电极表面涂敷液态环氧树脂并固化处理,重复该过程形成多层绝缘薄膜,用机械磨削法去除电极端部的绝缘膜,使电极端面导电。通过基础工艺实验优化了旋涂法工艺参数,通过对比实验验证了侧壁绝缘电极的微孔加工效果。旋涂法可制得膜厚为5~10 μm的侧壁绝缘电极,采用该电极加工可显著减小微孔直径及锥度,提高微细电解加工尺寸精度。
- 刘改红李勇陈旭鹏马晓宇朱效谷
- 关键词:微细电解加工微细电极微细孔
- 精密内孔相贯线处毛刺的可控电解去除工艺
- 围绕精密机械偶件内孔相贯线处毛刺的去除问题,提出一种约束蚀除域于毛刺的可控电解工艺。基于电解加工中金属/溶液的双电层充放电理论,控制脉冲电源的脉宽和电极的加工位置以对应毛刺的不同形态与大小。密封与带毛刺内孔相贯的另一端面...
- 孔全存李勇王琨刘立强
- 关键词:电解加工去毛刺高频脉冲电源
- 文献传递
- 采用疏水材料侧壁绝缘电极的微细电解加工实验被引量:3
- 2013年
- 微细电解加工中工具电极和工件之间的加工间隙是影响加工效果的核心因素.工具电极侧壁施加绝缘膜的工艺方法,可显著改变侧面加工间隙内的电场分布,提高加工精度,同时保持原有的加工效率,有着良好的应用前景.本文基于仿真方法,分析了绝缘膜对端面加工间隙和侧面加工间隙的影响规律,研究了绝缘膜疏水性质对电解加工中产生的氢气泡运动的吸附作用对微细电解加工的影响.在直径为数十到数百微米的钨丝侧壁制备出可用于微细电解加工的几微米厚的硅胶疏水材料侧壁绝缘薄膜.在硝酸钠电解液中,实现了不锈钢材料上将微气泡附着于电极前端与绝缘膜结合处、保护绝缘膜和约束杂散腐蚀的微细电解端面分层扫描加工效果.
- 胡满红李勇张跃王健朱晓谷
- 关键词:微细电解加工
- 微细电解加工倒锥孔的仿真与实验
- 提出一种倒锥孔的微细电解加工工艺。在前道工序加工出直底孔之后,采用微细电解加工,结合侧壁绝缘电极、高频脉冲电源的应用,在工具电极沿底孔轴线进给过程中,通过加工电压、进给速度等加工参数的调节控制,将底孔加工修整为倒锥形。采...
- 胡瑞钦李勇孔全存
- 关键词:微细电解加工
- 文献传递
- 回退对微细电解加工的影响分析及实验研究
- 电解加工时,微小加工间隙内的电解产物难以移除,会降低加工效率、影响加工稳定性和质量.分析了电解产物对加工的影响机理,提出利用工具电极间歇快速回退移除加工间隙内电解产物、增强电解液更新的方法,研究了间歇回退对加工稳定性、效...
- 马晓宇李勇严云崧胡满红
- 关键词:ECMINTERMITTENTWITHDRAWALELECTROLYTERENEWAL
- 三维微小型腔的电加工技术研究
- 为提高三维微小型腔的电火花加工的加工效率,采用放电间隙伺服控制实时补偿电极损耗的技术路线,提出了三维微细电火花伺服扫描加工方法,加工实验验证了伺服扫描加工可以便捷地实现三维微小型腔结构的加工成型。进一步为了提高加工成型精...
- 李勇佟浩胡满红
- 文献传递
- 加工间隙内电解产物对微细电解加工的影响分析被引量:10
- 2008年
- 微细电解加工时,由于间隙微小,生成的电解产物因难以从加工区域中移除而降低了加工速度甚至中断加工。为保证加工的持续进行,利用工具电极作间歇快速回退是移除间隙内的电解产物、更新电解液的有效途径之一。论文研究分析了间歇回退加工情况下电解产物移除速率对加工速度的影响,结果表明:加工速度并不随加工间隙的减小而单调增大,实际加工速度存在极限值(极大值)。为兼顾加工效率和加工精度,应以与之对应的间隙值作为实际加工间隙。
- 马晓宇李勇吕善进胡满红
- 关键词:微细电解加工