国家自然科学基金(11305142)
- 作品数：4 被引量：4H指数：1
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- 电压对中频脉冲非平衡磁控溅射类金刚石薄膜结构与性能的影响被引量：1
- 2015年
- 制备参数对类金刚石(DLC)薄膜的性能和结构有显著影响。利用中频脉冲非平衡磁控溅射新技术制备了DLC薄膜,采用Raman光谱、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪、光谱型椭偏仪研究了溅射电压对DLC薄膜微观结构、力学性能和光学性能的影响。结果表明:当溅射电压由550 V增加到750 V时,DLC薄膜中sp3杂化碳含量随溅射电压的增加而增加,当溅射电压超过750 V时,薄膜中sp3杂化碳含量随溅射电压的增加而减少;DLC薄膜的纳米硬度、折射率均随溅射电压的增加先增加而后减小,溅射电压为750 V时制备薄膜的纳米硬度及折射率最大。
- 王俊玲代海洋
- 关键词：类金刚石膜膜结构膜性能
- 中频脉冲非平衡磁控溅射技术制备类金刚石膜的结构与性能被引量：2
- 2016年
- 利用中频脉冲非平衡磁控溅射技术在载玻片上制备了类金刚石(DLC)薄膜,研究了沉积气压对薄膜厚度、微观结构、机械性能和光学性能的影响。厚度测试结果表明,DLC膜厚度随沉积气压的增加而增加。X射线光电子能谱测试结果表明,当沉积气压由0.18Pa增加到1.50Pa时,DLC薄膜中sp^3杂化碳含量随沉积气压的增加而减少。纳米压痕和椭偏仪测试结果表明,DLC膜的纳米硬度、折射率均随沉积气压的增加而减小。采用浅注入模型分析了沉积气压对薄膜生长和键合结构的影响。以上结果表明,沉积气压对DLC膜的厚度、sp^3杂化碳含量、机械与光学性能具有较大的影响。
- 王俊玲代海洋
- 关键词：类金刚石膜
- 功能材料课程的教学改革与探索
- 2016年
- 结合功能材料课程的特点与定位,对教学过程进行了探索,并通过改革教学内容、备课方法、教学方式、教学手段和考核方式来提高该课程的教学质量和学生的综合能力。
- 代海洋刘德伟陈镇平
- 关键词：功能材料教学探索教学质量
- 甲烷压强对类金刚石薄膜结构与性能的影响被引量：1
- 2014年
- 以氩气、氩气-甲烷为辅助气体,高纯石墨为靶材,采用脉冲非平衡磁控溅射技术制备了无定形碳膜(a—C)及氢化无定形碳膜(a—C∶H)。利用台阶仪、傅里叶红外光谱、Raman光谱、纳米压痕测试仪、椭偏仪对所制备类金刚石膜的沉积速率、结构、力学性能、折射率随甲烷气体含量的变化进行表征。结果表明:甲烷压强对类金刚石膜的结构与性能具有较大影响;类金刚石膜的沉积速率和键合氢的含量随着甲烷压强的增加而增加,但是薄膜中的sp3杂化碳的含量随着甲烷压强的增加而减小;类金刚石膜的纳米硬度和折射率均随甲烷压强的增加而减小。
- 刘海增代海洋陈镇平王春芬
- 关键词：类金刚石膜
