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国家高技术研究发展计划(2006AA04Z347)

作品数：6 被引量：17H指数：3
相关作者：夏善红彭春荣张海岩刘世国郭鑫更多>>
相关机构：中国科学院电子学研究所中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 6篇中文期刊文章

领域

  • 6篇自动化与计算...

主题

  • 5篇感器
  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇电场传感器
  • 3篇微型电场传感...
  • 1篇信号
  • 1篇弱信号
  • 1篇自动标定系统
  • 1篇自组装
  • 1篇自组装膜
  • 1篇微机电系统
  • 1篇微机械
  • 1篇微弱信号
  • 1篇系统设计
  • 1篇系统设计与研...
  • 1篇谐振器
  • 1篇芯片
  • 1篇芯片系统
  • 1篇静电压
  • 1篇控制方法

机构

  • 6篇中国科学院电...
  • 4篇中国科学院研...

作者

  • 6篇彭春荣
  • 6篇夏善红
  • 3篇刘世国
  • 3篇张海岩
  • 2篇郭鑫
  • 1篇佟建华
  • 1篇边超
  • 1篇董汉鹏
  • 1篇郑凤杰
  • 1篇张虹
  • 1篇杨鹏飞
  • 1篇陈贤祥
  • 1篇孙楫舟
  • 1篇陈贤禅
  • 1篇陈庆永
  • 1篇熊幼芽

传媒

  • 4篇仪表技术与传...
  • 1篇电子与信息学...
  • 1篇信息与电子工...

年份

  • 1篇2011
  • 5篇2009
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
传感器芯片系统研究与应用被引量：1
2009年
基于微纳制造、微电子等技术的传感器芯片系统具有体积小、质量轻、功耗低、易于批量化生产、成本低、易于集成化等优点,是传感技术领域的一个重要研究方向。近年来相关的研究主要包括微纳传感器芯片、微传感器阵列、多传感器集成芯片系统、传感器与电路集成芯片系统、微流控芯片系统、无线网络传感器节点芯片系统等。文中分别以糖化血红蛋白免疫传感器、催化燃烧气体传感器和电场传感器为例,简要介绍若干典型的生物量、化学量和物理量微传感器系统及其应用。
夏善红边超孙楫舟陈贤祥彭春荣董汉鹏陈庆永佟建华郑凤杰张虹
关键词：传感器芯片系统
基于Labview的微型电场传感器自动标定系统被引量：3
2011年
针对微型电场传感器输出信号弱(pA量级)、噪声强等特点,设计了一种新型的传感器微弱信号检测与标定测试系统。该系统采用Labview可视化编程语言,实现传感器的采集控制和信号处理,并基于新型的相关检测和噪声抑制技术,可实现信噪比达到-60dB的信号提取,通过加载相关测试模块,可进一步测得传感器的静态及动态指标,并谱出动态响应曲线。
张海岩彭春荣刘世国杨鹏飞夏善红
关键词：微型电场传感器LABVIEW语言
一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器被引量：8
2009年
该文提出了一种闭环自激式驱动的微型电场传感器方案。利用自动增益控制的原理实现闭环自激驱动,使得微传感器能够始终工作在谐振状态,且振动幅度保持稳定。用matlab-simulink工具对系统进行了仿真,结果表明,当传感器的谐振频率发生0.5%的漂移时,系统可以重新捕捉并锁定到新的谐振频率,和开环驱动方案相比,传感器振幅的衰减度从30%降低到0.1%之内,灵敏度从缩减50%改进到缩减0.1%之内。
熊幼芽彭春荣夏善红
关键词：微型电场传感器闭环
基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制被引量：1
2009年
针对基于MEMS技术的微型静电场传感器的输出信号微弱、信噪比低等特点,采用高精度运算放大器和直接数字合成器芯片设计出了一种基于封装小但没有浮点运算器的单片机的微型静电场传感器系统,并通过一定的算法解决了单片机运算能力弱的问题,最终整个系统的测试精度能达到5%,分辨率能达到500 V/m,检测时间小于1 s.
刘世国彭春荣陈贤禅夏善红
关键词：微弱信号
微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法被引量：3
2009年
研究了微型电场传感器结构释放过程的粘连现象,通过实验采用不同的方法来避免粘连现象的产生,如蒸发干燥法,CO_2临界点干燥法,自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。结果表明CO_2临界点干燥法和自组装膜方法能够较好的避免粘连现象的产生,提高微型电场传感器的成品率。
郭鑫张海岩彭春荣夏善红
关键词：微型电场传感器自组装膜
非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪被引量：2
2009年
针对工业中的表面电势测量应用,研制了一种新型的基于微机械加工技术(MEMS技术)的微型静电压仪。为了提高器件的信噪比和灵敏度,传感器敏感结构基于谐振式工作原理,并采用差分激励和差分敏感的结构设计。基于高速数字芯片和数字信号处理技术,研制了传感器的数字化检测系统原理样机。该传感器可实现非接触式表面电势测量,在距离目标表面20 mm位置,该传感器最小分辨电压优于10 V,精度优于10%。文中还进行了摩擦泡沫表面电势的测量,试验结果表明:该传感器可反映表面电势的变化和电荷衰减。
彭春荣刘世国张海岩郭鑫夏善红
关键词：电场传感器谐振器
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