国家高技术研究发展计划(2006AA04Z354)
- 作品数：2 被引量：1H指数：1
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- 侧壁四电极电容耦合非接触电导检测器(英文)
- 2012年
- 研制了一种集成于硅基电泳芯片分离沟道末端侧壁的新型四电极电容耦合非接触电导检测器.研究了该电导检测器的等效模型,对等效电路模型中的参数进行了公式推导,并讨论了影响电导检测响应灵敏度的相关因素.采用深刻蚀及离子注入加工技术制得了用于电导检测的立体电极.制作了基于锁相放大原理的信号处理电路,对该电导检测的频率响应及灵敏度进行了测试分析.实验结果表明,当激励信号频率为300 kHz时,该电导检测器具有最佳线性度;不同浓度Na+溶液响应电压差值为5 mV;检测限达到10-8mol/L;且成功实现了Na+和Li+混合无机阳离子的电泳分离在线检测.
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- 关键词：毛细管电泳芯片
- 硅基电泳芯片非接触电导检测器被引量：1
- 2010年
- 研制了一种集成于硅基电泳芯片分离沟道末端侧壁的新型二电极非接触电导检测器.讨论了影响电导检测响应灵敏度的相关因素;采用MEMS分析软件及等效电路模拟仿真,确定了检测器的相关参数,电极长度为550μm,宽度为15μm,间距为80μm,绝缘层厚度为1μm,电导检测工作频率为300 kHz.在加工技术中,选用SOI(sili-con on insulator)基片制作十字形微沟道及集成电导检测电极,采用深刻蚀和隔离技术使检测电极被完全隔离成孤岛,利用硼掺杂技术在分离沟道末端侧壁形成立体电极,获得了集成非接触电导检测电极的硅基电泳芯片.在外加Vpp为10 V、工作频率为300 kHz的正弦波激励下,进行了Na+无机阳离子浓度梯度实验以及Na+和Li+混合无机阳离子的电泳分离检测.结果表明,Na+浓度在1×10-9～1×10-4 mol/L范围内,电导响应信号随着离子浓度的增加而增大,检出限达到1×10-9 mol/L;Na+和Li+混合无机阳离子的分离度达到2.0,实现基线分离.
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- 关键词：非接触电导检测
