陕西省自然科学基金(99X05)
- 作品数：11 被引量：54H指数：5
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- 相关领域：理学机械工程电子电信一般工业技术更多>>
- 微机械纳米接触连续方法的建模和计算被引量：3
- 2004年
- 为解决微机械中"微碰撞"、"纳米接触"问题,建立了纳米接触的刚性球-面模型,根据Hamaker3个假设和Lennard Jones势,利用连续方法推导出球同平面第1和第N层原子之间的作用力表达式,仿真出粘着力同原子层之间的关系,得出影响纳米接触的主要原子为接触区域少数几层原子的结论,从而为纳米接触、纳米摩擦的进一步研究提供理论基础.
- 田文超贾建援
- 关键词：微机械尺寸效应
- 单分子操纵技术
- 通过原子、分子操纵,实现在纳米尺度上对材料进行加工,完成单原子、单分子和单电子器件的制作,一直是人们追求的目标。从电场、力和光方面综述了实现原子、分子操纵的原理,重点介绍了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和光镊子及其在微电子...
- 田文超贾建援
- 关键词：扫描隧道显微镜原子力显微镜
- 文献传递
- Hamaker假设工程实际应用的作用域讨论被引量：1
- 2004年
- 随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小 ,纳米粘着力对MEMS的影响越来越明显。本文根据纳米粘着力连续介质法的理论计算基础———Hamaker假设 ,用连续介质法计算了双原子吸引力 ,发现计算结果同经典的Lennard Jones势所反映的引力存在差异 ;因此 ,对Hamaker假设提出疑问 ,得出Hamaker假设仅在间距较大时才成立的结论 ;通过分析两者的相对误差 ,确定了Hamaker假设在工程实际应用中的定义域为 :接触间距大于 7倍的原子半径 ;
- 范国滨田文超贾建援
- 关键词：MEMS定义域
- AFM针尖-试样面作用力连续介质方法研究被引量：7
- 2003年
- 介绍了目前研究纳米接触问题的方法;根据Hamaker理论,利用连续介质方法,建立了原子力显微镜针尖和试样面接触的包括斥为项的力学模型;对模型进行了仿真,仿真结果同实验现象一致。将纳米接触问题的研究领域从非接触区域扩展到间歇接触区域,为原子力显微镜的进一步研究,实现原子操纵提供理论基础。
- 田文超贾建援
- 关键词：原子力显微镜
- MEMS粘着研究
- 随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小,尺寸效应对系统的影响越来越明显,如何控制微电子机械中的粘着力,已成为微电子机械系统提高性能、批量生产、走向市场的关键因素。本文首先介绍了国内外粘着力的研究理论;根据Hamaker理论,推...
- 田文超贾建援
- 关键词：微电子机械系统粘着力
- 文献传递
- DMD弹性片同基底之间粘着力计算被引量：2
- 2003年
- 随着材料尺寸、加工尺寸的日趋减小 ,粘着力对微电子机械性能影响越来越大。本文建立了 DMD弹性片同基底之间纳米接触的物理模型 ;根据 Hamaker理论和赫兹理论 ,用连续方法推导出粘着力的力学模型 ;仿真出粘着力及变形面同接触间距的关系 ;仿真结果同相关实验一致 ;从而为 DMD设计 ,加工及纳米碰撞。
- 田文超贾建援
- 关键词：微电子机械DMD粘着力
- 单分子操纵技术被引量：8
- 2003年
- 通过原子、分子操纵 ,实现在纳米尺度上对材料进行加工 ,完成单原子、单分子和单电子器件的制作 ,一直是人们追求的目标。从电场、力和光方面综述了实现原子、分子操纵的原理 ,重点介绍了扫描隧道显微镜、原子力显微镜和光镊子及其在微电子学、信息科学、基因工程、生命科学、计算机科学、生物技术、表面技术等领域的应用 。
- 田文超贾建援
- 关键词：扫描隧道显微镜原子力显微镜
- 数字微反射镜装置的分析与设计被引量：10
- 2001年
- 简述了数字微镜装置的微机械工作原理和数字光信号处理技术 ,建立了基于微米技术制作的数字微镜的机电动力学模型 ,并给出了微机械碰撞中考虑纳米尺寸效应的实用建模方法 .数值仿真分析了某微反射镜单元的运动状态和过程 ,分析结果与该微镜实测结果吻合较好 .此外 ,还设计了一种新型微镜阵列 。
- 贾建援邵彬冯小平
- 关键词：微电子机械系统投影仪光机电一体化
- 微机械纳米接触原子层数的连续方法研究被引量：3
- 2003年
- 为解决微机械中“微碰撞”、“纳米接触”问题 ,建立了纳米接触的刚性球 -面模型。根据 Ham aker三个假设和L ennard- Jones势 ,利用连续方法推导出球同平面第一和第 N层原子之间的作用力表达式 ,仿真出粘着力同原子层之间的关系 ,得出影响纳米接触的主要原子为接触区域少数几层原子的结论 ,从而为纳米接触。
- 田文超贾建援
- 关键词：微机械粘着力LENNARD-JONES势
- 数字微镜纳米接触粘着力研究被引量：3
- 2002年
- 针对由于尺寸效应导致粘着力对微电子机械性能影响的问题,建立了数字微镜的弹性片同基底之间纳米接触的物理模型。根据Hamaker三个假设和Lennard-Jones势理论,用连续方法推导出弹性片同基底之间粘着力的力学模型,并得到数值结果。仿真出粘着力同接触间距以及弹性变形的关系,数值结果和仿真结果同相关实验一致,从而得出粘着力在微电子机械中不可忽略的结论,为纳米碰撞及纳米摩擦、纳米接触的进一步研究提供了理论基础。
- 田文超贾建援
- 关键词：数字微镜粘着力微电子机械尺寸效应
