高等学校科技创新工程重大项目(708037)
- 作品数：6 被引量：13H指数：3
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- 相关领域：电子电信机械工程一般工业技术化学工程更多>>
- 背面夹缝曝光的光学模拟及其实验
- 2014年
- 背面夹缝曝光是利用光学衍射效应来制备三维微结构的新方法.采用Matlab对曝光时间和夹缝对三维SU-8结构形貌的影响进行了模拟,并开展了相应的实验研究.结果表明:背面夹缝曝光是获得三维微结构的简便方法.模拟与实验揭示了相同的规律性,即微结构的侧壁倾斜角度取决于夹缝大小;当夹缝不变时,微结构的侧壁倾斜度不变,但微结构的大小随曝光时间而变化.
- 朱军陈翔
- 关键词：SU-8胶
- 倾斜旋转紫外曝光在微针制备上的应用被引量：2
- 2010年
- 采用倾斜旋转光刻的方法开展圆锥形异平面微针制备技术研究.通过改进实验室现有设备,以SU8光刻胶结构为模具,通过聚合物材料间的图形转移制备了PDMS异平面圆锥形实心微针的倾角为67°、高度为353μm的微针阵列.该方法具有低成本多材料适用的制备优势.
- 蒋宏民朱军曹莹陈翔陈迪
- 毫米波缝隙天线的三维非硅微加工制造技术被引量：1
- 2010年
- 讨论了面向毫米波缝隙天线集成制造应用的三维非硅微加工技术方案,重点解决多种材料兼容、多层复杂微结构集成和大悬空高度等独特难题。针对天线器件中金属和介质材料的结合,提出了加法工艺、减法工艺以及一种通用型图形化微加工工艺,其中通用型图形化工艺为各种非硅薄膜材料在MEMS体系中的灵活运用创造了条件;为了实现多层复杂微结构的加工,提出工艺整合和工艺兼容性设计,针对天线器件中的悬空结构对牺牲层工艺进行了研究;最后以一种单向宽带毫米波平面缝隙天线为例,阐述其具体工艺流程,验证了上述工艺的可行性。
- 陆闻静宿智娟丁桂甫
- 关键词：毫米波天线缝隙天线
- MEMS微针制备及其应用研究的进展被引量：4
- 2010年
- 微电子机械系统(MEMS)微针是目前的一个研究热点,在生物医学上有着广泛的应用。该文介绍了一些新的微针制备方法,对它们的优缺点进行了分析。另外,综述了微针应用研究的最新进展,指出了其面临的挑战和未来的发展趋势。
- 杨君朱军蒋宏民曹莹陈翔
- 关键词：微针透皮给药微电极微电子机械系统
- UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析被引量：4
- 2010年
- 利用LIGA或UV-LIGA技术制备的镍,特别适合作为微器件的结构材料。材料的力学性能在微器件的仿真设计和实际使用中起到重要作用。主要利用常规的力学试验机和自行搭建的微拉伸平台,通过单轴拉伸方法测试了电流密度为20mA/cm2的UV-LIGA镍薄膜的力学性能。3种测试方法的结果呈现了一致的规律性变化——弹性模量显著降低,强度显著提高,表明UV-LIGA镍具有与块体镍显著不同的力学性能。通过X射线衍射分析(XRD),测量了该电流密度下试样的择优取向和晶粒尺寸,通过场发射扫描电镜(SEM)观察了试样的表面形貌和拉伸断口,并初步地分析了UV-LIGA镍力学性能的变化原因。该测试结果为微器件的仿真设计提供了重要的参考依据。
- 毛胜平汪红刘瑞汤俊李雪萍丁桂甫
- 关键词：MEMS电沉积单轴拉伸
- MEMS微针的最新研究进展被引量：3
- 2011年
- 介绍了MEMS微针技术在微针制备工艺、力学和流体性能模拟以及透皮给药方面研究的近况。描述了硅、金属和聚合物材料的微针制备工艺,分析了这些材料在MEMS微针应用上的优缺点。比如硅微针制备工艺成熟但是硅的质地太脆;金属微针机械强度高却不易载药;聚合物微针易于批量化复制但是机械强度差。进一步阐述了微针研究取得的进展,总结了微针技术发展需要解决的关键问题。微针制备工艺已经日趋成熟,微针将朝着可复制化、批量化方向发展,微针经皮给药将逐渐从动物实验转移到人体实验,以实现微针研究的最终目的——临床给药。
- 曹玉田朱军曹莹李以贵陈翔陈迪
- 关键词：微针经皮给药流感病毒疫苗
