福建省重大科技项目(2005HZ1021)
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
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- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备被引量：3
- 2014年
- 在芯片级铷原子钟中,需要微腔体来承载Rb—87滤光泡,为此,提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐蚀过程中凸角处产生削角现象,研究中采用了超声腐蚀技术和凸角补偿技术。首先,分别在纯KOH溶液,并结合搅拌和超声等方法,对(100)硅片进行湿法腐蚀,并运用激光共聚焦扫描显微镜对腐蚀后的{111}表面进行粗糙度测量,表明运用超声腐蚀技术可以获得光滑的{111}腔体侧面。在此基础上,引入条形掩模凸角补偿方法进行微腔体腐蚀。实验结果表明:在80℃、质量分数为30%KOH、超声频率和功率分别为59 kHz和160 W的溶液中腐蚀,其{111}腐蚀表面粗糙度为0.117μm,同时条形的长度取1200μm时,可以获得平滑规整的微腔体。
- 王婷婷曾毅波王盛贵魏秀燕毕瑞可郭航
- 关键词：激光共聚焦扫描显微镜凸角补偿
- 一种用于微小型铷原子频标的6.83 GHz谐振腔
- 2014年
- 研制了一种用于微小型铷原子频标的6.83 GHz微波谐振腔。对谐振腔内的电磁场、谐振频率与探针的关系进行了分析,并应用Ansoft HFSS软件进行填充介质的谐振腔进行了仿真分析。在此基础上对介质谐振腔进行设计与加工制造,测量出填充不同厚度的氧化铝陶瓷时谐振腔的谐振频率。结果表明,当矩形谐振腔取12 mm ×15 mm ×18 mm,填充5.66 mm厚的氧化铝陶瓷介质,介质谐振腔频率可达6.83 GHz,模式为TE101,谐振腔体积大幅减小至3.24 cm3, 是传统的未填充谐振腔体积的三分之一,同时电磁场分布均匀,适用于铷气室型微小型原子频标。
- 魏秀燕吴静夏瑞郭航
- 关键词：微小型化
- 用于微小型化铷原子钟的MEMS Rb-85滤光泡的研究被引量：3
- 2009年
- 研究并提出一种分析设计Rb气泡原子钟微型Rb-85滤光泡的方法。从量子物理出发,通过为Rb灯的发射光谱引入Lorentzian线形函数,得到一个滤光泡内的光强与入射光强的关系式,其中包含了跃迁系数,频移,谱线宽度等参数,通过研究确定这些参数并最终建立一个具有高吸收效率的滤光泡的理论模型。基于这种方法,我们设计了MEMS滤光泡,Rb-87灯射出的光谱经过该滤光泡后,90%多的α线被吸收,而β线则只衰减不到3%,因此,MEMS滤光泡不仅可以大幅度减小体积与功耗,其滤光效果也更为优越。
- 郭航王盛贵
- 关键词：量子物理MEMS
