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江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(ZX10B258Z)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：张伟张伟李保家周明任乃飞更多>>
相关机构：江苏大学更多>>
发文基金：江苏省普通高校研究生科研创新计划项目江苏省高校优势学科建设工程资助项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信
  • 1篇理学

主题

  • 1篇微构造
  • 1篇激光
  • 1篇光学
  • 1篇光学吸收
  • 1篇飞秒
  • 1篇飞秒激光
  • 1篇硅
  • 1篇AZO
  • 1篇表面镀

机构

  • 1篇江苏大学

作者

  • 1篇任乃飞
  • 1篇周明
  • 1篇李保家
  • 1篇张伟
  • 1篇张伟

传媒

  • 1篇中国激光

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
飞秒激光微构造硅表面镀AZO膜的形貌及其光学吸收性能被引量：2
2011年
在SF6气氛中使用飞秒激光对单晶硅表面进行辐照,制造了尖峰状的微结构表面,随后在该表面上通过磁控溅射了一层掺铝氧化锌(AZO)薄膜。考察了样品镀膜前后的表面微结构和光学吸收性能。结果表明,表面尖峰尺寸和间隙会受到激光能量密度的影响,光在这些尖峰中的多次反射是微构造硅在200～1000nm波段具有良好光学吸收性能的主要原因。镀膜后,粗糙表面对入射光的散射和AZO薄膜的增透作用增强了样品在可见光区域(400～800nm)的光学吸收性能,AZO薄膜对红外光的高反射导致样品反射峰的红移。
唐万羿周明任乃飞李保家张伟
关键词：光学吸收
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