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中国人民解放军总装备部预研基金(51309010701)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：杨勇邓力杨勇更多>>
相关机构：中国电子科技集团第二十六研究所中国电子科技集团更多>>
发文基金：中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
相关领域：航空宇航科学技术电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 1篇电极
  • 1篇调整方法
  • 1篇陀螺
  • 1篇位移传感器
  • 1篇刻蚀
  • 1篇激光位移传感...
  • 1篇感器
  • 1篇半球谐振陀螺
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇杨勇
  • 1篇邓力
  • 1篇杨勇

传媒

  • 1篇压电与声光

年份

  • 1篇2021
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于半球谐振陀螺电极刻蚀的三维平衡调整方法
2021年
曲面电极刻蚀技术是半球谐振陀螺的关键技术之一。为满足半球谐振陀螺高精度和高性能的要求,针对激励罩和读出基座的电极刻蚀工艺,该文提出了一种新的调整方法——三维平衡调整法。通过X、Y、Z方向的位移传感器检测器件与参考平台的间距,根据间隙差距的大小进行相应的调整。试验验证表明,该方法能有效减小半球谐振陀螺电极刻蚀的误差,满足器件的各项性能参数。该方法原理简单,具有定位精度高,工艺易实现的优点,对半球谐振陀螺电极刻蚀工艺具有较好的工程应用价值。
杨勇杨勇邓力邓力方仲祺雷霆余波
关键词：半球谐振陀螺激光位移传感器
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