四川省教育厅青年基金(08zb006)
- 作品数：7 被引量：39H指数：4
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- 相关机构：西南科技大学中国科学技术大学更多>>
- 发文基金：四川省教育厅青年基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学化学工程生物学更多>>
- 不同气氛下飞秒激光诱导硅表面微结构被引量：8
- 2010年
- 利用钛宝石飞秒激光脉冲对单晶硅在SF6、空气和真空环境中进行了累积脉冲辐照,研究了硅表面微结构的演化。在SF6气氛中,在激光辐照的初始阶段,硅表面形成了1维的波纹结构,随着辐照脉冲数的增加,波纹结构演化成了2维凹凸结构。累积600个脉冲后,硅表面产生了准规则排列且具有大纵横比的锥形尖峰结构。该结构呈现高度相对较低、锥形尖端小球不明显的特征,分析认为主要与环境气压的大小有关。对比空气、SF6和真空中的微结构发现,尖峰的数密度依次减小;SF6中形成的尖峰高度最大,其次为真空,再次为空气。研究结果表明,真空、SF6和空气3种环境下微结构的形成及表面形貌主要由激光烧蚀、化学刻蚀和氧化决定。
- 袁春华李晓红唐多昌杨宏道李国强
- 关键词：飞秒激光激光诱导硅
- 采用飞秒激光诱导制备彩色金属被引量：5
- 2011年
- 采用脉宽为35～65 fs,中心波长为800 nm的飞秒脉冲激光对经抛光的镍片进行表面扫描处理,并在金属表面上制备了彩色镍图案;设置不同的激光扫描速度和能量密度扫描处理不锈钢表面,亦制备了彩色图案。介绍了实验过程,分析了实验结果,扫描电子显微镜(SEM)形貌分析显示,经过飞秒激光扫描处理的金属表面出现了纳米量级的激光诱导周期表面结构(NC-LIPSS),在镍上形成的结构周期约为480～510 nm,在不锈钢上形成的结构周期约为480～540 nm。
- 李国强李晓红杨宏道邱荣黄文浩
- 关键词：飞秒激光表面等离子激元
- 机械剥离法制备高质量石墨烯的初步研究被引量：20
- 2010年
- 采用机械剥离法制备了高质量的石墨烯。利用光学显微镜、原子力显微镜和拉曼光谱仪分析了石墨烯的厚度、形貌和结构。结果表明剥离的石墨薄层包含了高质量的单层及2~3层石墨烯。机械剥离法是制备高质量石墨烯最简单的方法。
- 唐多昌李晓红袁春华杨宏道
- 关键词：石墨烯
- 离子轰击辅助电子束蒸发制备含有纳米石墨结构的非晶碳膜
- 2009年
- 采用离子轰击辅助电子束蒸发技术制备了含有纳米石墨结构的碳膜。利用XRD、Raman和AFM等方法分析了碳膜的厚度、结构、相成分和形貌。结果表明制备的碳膜是一种具有纳米石墨结构的非晶碳膜。随着离子轰击能量的增大,碳膜的厚度随之减小,纳米石墨结构sp2团簇的尺寸变大,碳膜表面粗糙度增大,并找到了最佳的离子轰击能量。通过对Raman光谱分析发现,在最佳离子轰击能量下形成的纳米石墨结构sp2团簇尺寸大小约为2 nm。
- 唐多昌李晓红袁春华
- 关键词：离子轰击纳米石墨非晶碳膜
- 纳秒激光辐照对类金刚石薄膜的损伤及改性被引量：2
- 2010年
- 利用Nd:YAG纳秒激光(波长分别为355、532和1064nm)辐照由电子束蒸发技术制备的类金刚石(DLC)薄膜,通过光学显微镜、光学轮廓仪和拉曼光谱仪等分析了辐照后的薄膜样品,结果表明:不同波长的单脉冲激光辐照时,DLC膜的激光损伤阈值不同;同一波长的多脉冲激光辐照时,损伤阈值低于单脉冲辐照阈值;脉冲激光辐照对DLC膜具有改性作用,受辐照薄膜区域表层发生了石墨化、剥落和气化效应,致使DLC膜表面出现了隆起和弹坑,隆起高度和弹坑深度与激光能量密度大小和脉冲个数有关。
- 唐多昌李晓红袁春华杨宏道李国强
- 关键词：类金刚石薄膜激光辐照激光损伤
- 纳秒激光脉冲诱导硅表面微结构被引量：4
- 2010年
- 利用Nd:YAG纳秒激光脉冲,在能量密度为1～10 J/cm2范围内辐照单晶硅,形成了表面锥形微结构,在SF6气氛和空气环境下均形成了锥形尖峰表面微结构。SF6气氛下产生的锥形尖峰顶端都有小球,部分锥形上还有二次尖峰形成,空气中纳秒激光诱导的锥形尖峰微结构顶端和边缘有由液滴固化形成的粒状物质,不同于利用准分子纳秒激光诱导的细长须状结构和飞秒激光辐照下产生的具有表面枝蔓状纳米结构的锥形微结构。实验结果表明,这种尖峰微结构的形成与辐照激光的波长和脉冲持续时间有关。对空气中微构造硅的辐射反射的初步研究表明,在500～2 400 nm范围内的光辐射反射率不高于20%。
- 袁春华李晓红唐多昌杨宏道
- 关键词：激光烧蚀硅
- 波长和气氛对激光诱导硅表面微结构的影响被引量：1
- 2010年
- 为了研究特定气氛下激光辐照对单晶硅表面微结构的影响,采用红外(基频波长1064nm)和紫外(3次谐波波长355nm)YAG纳秒激光脉冲连续辐照方法,分别在SF_6、空气、N_2和真空环境下对硅表面微结构进行了实验研究。得到红外纳秒激光在SF_6和空气中形成的微结构较真空和N_2下有更高的纵横比;紫外纳秒激光在SF_6和真空中产生的锥形结构比N_2和空气中要更为显著,但SF_6中形成的微结构上有絮状物的结果。结果表明,激光波长和环境气氛对微结构的形成起着决定性作用,且激光辅助化学刻蚀的效率不同。该结果对深入研究纳秒激光在特定气氛下诱导硅表面微结构是有帮助的。
- 袁春华李晓红唐多昌杨宏道
- 关键词：激光物理硅
