浙江省自然科学基金(Y1110495)
- 作品数：3 被引量：1H指数：1
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- 激光合成波长干涉仪零相位检测实验研究
- 2013年
- 探讨激光合成波长干涉仪零相位检测方法,构建基于DSP芯片TMS320F28335的零相位检测实验装置,选用两个捕捉单元获取两单波长干涉信号的上升沿时刻差,用线性回归拟合方法算出零相位点位置。在恒温恒湿实验室中,分别以7 000、10 000和13 000个拟合点数进行实验,实验结果显示,参考镜过零点位置平均值分别为283 388.8、285 830.9、286 533.2μm,标准偏差分别为0.25、0.43、0.36μm。结果表明:选取7 000个拟合点数进行计算时,标准偏差最小,计算得到的过零点位置最准确。
- 张雪峰严利平刘燕娜陈本永
- 关键词：合成波长
- 激光圆偏振干涉纳米位移测量信号处理方法被引量：1
- 2013年
- 介绍激光圆偏振干涉纳米位移测量系统的光路结构，针对A／D误差和直流噪声引入的位移误差，提出了基于正余弦信号切换的干涉条纹处理方法，以提高测量精度。设计基于FPGA和DSP架构的激光圆偏振干涉纳米位移测量系统，其中FPGA主要用于信号的采集、大数计数及与上位机通讯，DSP主要用于小数计算。位移实验结果表明：在0～7μm范围内，步长为100nm的测量结果其线性拟合相关系数为0．9836，标准差为1．88nm；在0～15μm范围内步长为1μm的测量结果其线性拟相关系数为0．9992，标准差为2．96nm。验证了所提出的干涉条纹处理方法和信号处理系统能够实现纳米级位移测量精度的要求。
- 章淼凌严利平楼盈天刘燕娜陈本永
- 关键词：信号处理
- 基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量系统的优化设计
- 2012年
- 描述了基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量方法及其系统,通过分析测量平面镜顺时针和逆时针转动时光路结构的几何关系确定了该系统实施纳米位移测量应满足的条件,重点讨论了角锥棱镜固定时测量平面镜、波片和角锥棱镜三者之间的位置关系,实现了基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量系统的优化设计,得出了位移测量范围为-10～10mm时允许被测对象转动范围最大的系统参数,为该系统的研制奠定了技术基础。
- 刘燕娜严利平杨涛钟挺陈本永
- 关键词：外差干涉仪优化设计
